[发明专利]磁控溅射环件用钽凸结体生产方法及冲压模具

权利要求书

1.磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，以钽棒为原料，其特征在于采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成，其工艺过程依次为：钽棒锯料、车端面、冲压成型 、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔，其模具冲压成型所用模具有上模板（1）和下模板（9），两者之间有导向柱（3），下模板（9）上装有凹模（7），凹模之上配有凸模（6），凸模上配有退料杆（5）。

2.如权利要求1所述的磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，其特征在于上述凹模（7）与下模板（9）之间装有垫板（8），凸模（6）外缘固定有压板（4），压板（4）与垫板（8）之间通过螺栓连接。