[发明专利]抗磨损和晶须的涂覆系统和方法有效
| 申请号： | 200910118116.4 | 申请日： | 2004-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101540303A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 斯祖凯恩·F·陈;尼科尔·A·拉修克;约翰·E·吉芬;彼得·W·罗宾逊;埃彼德·A·卡恩 | 申请（专利权）人： | 奥林公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L23/495;H01L23/28;H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周艳玲;罗正云 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磨损 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合物结构，包括：
铜或铜基合金衬底(26)；
形成在所述铜或铜基合金衬底上的中介层(88、98、100)，该中介层 由包括铜和锡的金属混合物形成；以及
形成在所述中介层上的最外层，该最外层是包含铜-锡金属间化合物 (90、94、102)的相和富银相(92)的混合物。
2.如权利要求1所述的复合物结构，其中所述包含铜-锡金属间化合物 (90、94、102)的相进一步包含银。
3.如权利要求2所述的复合物结构，其中所述富银相(92)进一步包 含铜和锡。
4.如权利要求3所述的复合物结构，其中游离锡或游离锡基合金薄层 覆盖在所述最外层上面。
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