[发明专利]在结构的电化学制造期间保持层的平行度和/或实现所期望层厚度的方法和装置

权利要求书

1.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料；

(b)对该至少一种材料进行平坦化操作，包括：

(i)经由多孔真空吸盘将衬底安装到精研固定设备；

(ii)当将衬底安装到固定设备上时，对沉积的材料进行精研操作以平坦化材料表面并使得沉积材料的高度达到希望值；

(c)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次，以由多个粘附的层形成三维结构。

2.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料，其中一个或多个接触垫存在于衬底上或事先形成的层上；

(b)对该至少一种材料进行平坦化操作，包括：

(i)经由多孔真空吸盘将衬底安装至精研固定设备；

(ii)当将衬底安装置固定设备上时，对沉积的材料进行精研操作以平坦化材料表面并使得沉积材料的高度达到希望值；

(c)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次，以由多个粘附的层形成三维结构。

3.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料，其中一个或多个接触垫存在于衬底上或事先形成的层上；

(b)对该至少一种材料进行平坦化操作；

(c)对该至少一种材料进行检查以确定相对于希望参考的沉积物高度、沉积物的平坦度和相对于希望参考的沉积物取向中的至少两个；

(d)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次以由多个粘附的层形成三维结构。

4.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料，其中一个或多个参考垫存在于衬底上或事先形成的层上，该参考垫可用于确定平坦化的沉积材料的沉积高度、平坦化的材料的平坦度和/或平坦化的材料的取向中的至少一个；

(b)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次，以由多个粘附的层形成三维结构。

5.根据权利要求1-4中任一项的工艺，其中材料层的形成及粘附包括第一材料的选择性沉积、第二材料的毯覆式沉积。

6.根据权利要求1-4中任一项的工艺，其中材料层的形成及粘附包括第一材料的选择性沉积、第二材料的毯覆式沉积，且其中第一和第二材料中的至少一个是通过电镀操作沉积的。

7.根据权利要求1-4中任一项的工艺，其中平坦化操作包括精研操作。

8.根据权利要求1-4中任一项的工艺，其中平坦化操作包括金刚石加工操作。

9.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料：

(b)对该至少一种材料进行平坦化操作，包括：

(i)将衬底安装至飞刀切削机器中的固定设备；

(ii)当将衬底安装至固定设备时，将沉积的材料置于旋转切削工具中以平坦化材料表面并使得沉积材料的高度达到希望值；

(c)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次，以由多个粘附的层形成三维结构。

10.一种用于形成多层三维结构的制造工艺，包括：

(a)形成并粘附材料层至事先形成的层和/或衬底，其中该层包括希望图案的至少一种材料，其中一个或多个接触垫存在于衬底上或事先形成的层上；

(b)对该至少一种材料进行平坦化操作，包括：

(i)将衬底安装至飞刀切削机器中的固定设备，其中该固定设备具有相对于飞刀切削机器的切削平面调整衬底平面的能力；

(ii)调整衬底平面，以与在飞刀切削机器上的切削平面相匹配；和然后

(iii)当将衬底安装至固定设备时，将沉积的材料置于旋转切削工具中以平坦化材料表面，使得沉积材料的高度达到希望值；

(c)重复操作(a)的形成及粘附一次或多次，以由多个粘附的层形成三维结构。