[发明专利]熔结密封系统无效
申请号: | 200910118698.6 | 申请日: | 2009-03-03 |
公开(公告)号: | CN101533790A | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
发明(设计)人: | 李廷敏;丁熹星;李忠浩;吴准植;柳济吉;崔元奎 | 申请(专利权)人: | 三星移动显示器株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐江华;王珍仙 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封 系统 | ||
1、一种熔结密封系统,包括:
激光器,其中由所述激光器产生的激光束的强度在横向的横截面内未进行 标准化;
均化器,用于在所述激光束的横截面内标准化所述激光束的强度;和
支撑装置,用于支撑所述激光束射入其顶面的第一基板、位于第一基板下 方的第二基板、以及插入第一基板和第二基板之间用于粘接第一基板和第二基 板的玻璃料。
2、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述均化器包括多模光纤。
3、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述均化器包括光导管。
4、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述均化器包括蝇眼透镜。
5、如权利要求1所述的熔结密封系统,进一步包括将所述激光器产生的激 光束传输到所述均化器的连接元件。
6、如权利要求5所述的熔结密封系统,其中所述连接元件至少包括准直透 镜和聚焦透镜之一。
7、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述均化器包括具有一对彼此 面对的反射表面的光波导管。
8、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述激光器包括束型多芯源。
9、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中输入所述均化器的所述激光束 配置为在均化器内进行全反射。
10、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述均化器包括与激光发射 装置一体化的均化器。
11、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述激光器进一步包括用于 调节所述激光束强度的衰减器。
12、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述熔结密封系统进一步包 括含有一个或多个透镜的聚焦装置,所述透镜用于将所述激光束聚焦在至少一 个基板顶面附近的焦点上。
13、如权利要求1所述的熔结密封系统,其中所述基板用于包装和密封有 机发光显示装置内的发光层。
14、一种熔结密封方法,包括:
产生激光束,其中所述激光束的强度在横向的所述激光束横截面内未进行 标准化;
在所述横截面内标准化所述激光束强度;
在将玻璃料涂布于第一基板的下表面之后,向第一基板的顶面发射激光束 并使第一基板和第二基板结合,其中所述玻璃料插入所述基板之间。
沿着第一基板的顶面区域移动所述激光束,所述区域是第一基板的底面上 涂有所述玻璃料的部分;和
通过由发射到第一基板上的激光束产生的热固化所述玻璃料,且由此使玻 璃料固化并将第一基板和第二基板粘接在一起。
15、如权利要求14所述的熔结密封方法,其中所述激光束在所述激光束发 射区域内产生在200℃~600℃温度范围内的热。
16、如权利要求14所述的熔结密封方法,其中所述激光束发射区域内产生 的温度基本是均匀的。
17、如权利要求14所述的熔结密封方法,其中所述玻璃料包括混合在一起 的玻璃粉和有机材料以形成凝胶态。
18、如权利要求17所述的熔结密封方法,其中所述玻璃料在涂到第一基板 的底面之后、且与第二基板结合之前,经过煅烧工艺。
19、如权利要求18所述的熔结密封方法,其中所述固化后的玻璃料在第一 基板和第二基板之间产生封条,其中所述玻璃料基本无微观裂纹且基本不会渗 透氧气和湿气。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造