[发明专利]氧化锌薄膜的热处理方法以及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种氧化锌薄膜的热处理方法，包括：将形成有氧化锌薄膜的基板 装载在室内的阶段；向上述室内流入氢气的阶段；固定上述室内压力的阶段； 在上述室内利用上述氢气对氧化锌薄膜进行热处理的阶段；其中

上述室内的压力固定于0.3Torr至5Torr；并且

在上述热处理过程中，上述室内的温度为120℃至200℃；

上述氢气的流入量为10sccm至500sccm；上述热处理时间为3分钟至 60分钟；经过上述热处理之后，将上述室内的压力降低到10^-7Torr至10^-3Torr。

2.根据权利要求1所述的氧化锌薄膜的热处理方法，其特征在于：将 形成有氧化锌薄膜的基板装载在室内的阶段，室内压力为10^-7Torr至10^-3Torr。

3.根据权利要求1所述的氧化锌薄膜的热处理方法，其特征在于：上 述氧化锌薄膜包含从在氢、硼、铝、镓、铟中至少由其中之一构成的组提供 的掺杂物。

4.一种太阳能电池的制造方法，包括：将形成有氧化锌薄膜的基板装 载在室内的阶段；向上述室内流入氢气的阶段；固定上述室内压力的阶段； 在上述室内利用上述氢气对氧化锌薄膜进行热处理的阶段；其中，

上述室内的压力固定于0.3Torr至5Torr；并且

在上述热处理过程中，上述室内的温度为120℃至200℃；

上述氢气的流入量为10sccm至500sccm；上述热处理时间为3分钟至 60分钟；经过上述热处理之后，将上述室内的压力降低到10^-7Torr至10^-3Torr。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于：将形 成有氧化锌薄膜的基板装载在室内的阶段，室内压力为10^-7Torr至10^-3Torr。

6.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于：上述 氧化锌薄膜，包含从在氢、硼、铝、镓、铟中至少由其中之一构成的组提供 的掺杂物。