[发明专利]彩色滤光基板的重工方法有效
| 申请号： | 200910119347.7 | 申请日： | 2009-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101846842A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 谢文仁 | 申请（专利权）人： | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孙长龙 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 重工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种彩色滤光基板重工的方法，其特征在于，包括：
提供一彩色滤光基板，该彩色滤光基板具有一导电层以及至少一附着物，该附着物设置于该导电层上；
形成一保护层于该彩色滤光基板上，并覆盖该导电层以及该附着物；以及
利用一干蚀刻步骤去除该保护层以及该附着物。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该彩色滤光基板还包含一底材，且该底材表面设置有复数个色层、复数个遮光层以及至少一形成于该导电层的孔洞。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，该孔洞是穿透该导电层。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该附着物包含一残留光阻、一异物、一间隔物、一突出物或其混合所组成的族群。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该蚀刻步骤对于该保护层的蚀刻选择率是高于或等于该附着物。
6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，该蚀刻步骤对于该间隔物的蚀刻选择率是高于该突出物。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，该保护层和该间隔物所选用的材质是相同的。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，该保护层是为一压克力树脂材质。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该干蚀刻步骤为一等离子体蚀刻步骤。
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在该干蚀刻步骤中是以该导电层为蚀刻终止层。
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