[发明专利]用于大气颗粒单颗粒分析的微束X射线荧光设备

权利要求书

1.一种用于大气颗粒单颗粒分析的微束X射线荧光设备，包括X射线光源、“坪区”毛细管X射线会聚透镜、针孔光阑、样品台、显微镜和探测器，其特征在于：

所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜是利用多毛细管将发散的X射线会聚为带有“坪区”的微焦斑，“坪区”处X射线强度分布均匀度高，且具有较高的功率密度增益；

所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜在X射线光源和针孔光阑之间；

所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的入口端直径D_in和出口端直径D_out比该“坪区”毛细管X射线会聚透镜最大截面的直径D_max小；“坪区”毛细管X射线会聚透镜入口焦距f₁和出口焦距f₂可以相等也可以不等；透镜的长度l根据实验条件而定；

构成所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的单毛细管的直径是不同的，中间单毛细管的直径大，外层单毛细管的直径小；

所述“坪区”毛细管X射线会聚透镜的“坪区”大小在1-60微米范围内，适用于对0.2-40keV范围内X射线进行会聚，“坪区”处X射线强度分布均匀度在2％-6％范围内，“坪区”处功率密度增益的数量级在10²-10³范围内。

2.根据权利要求1所述的用于大气颗粒单颗粒分析的微束X射线荧光设备，其特征在于：利用基于“坪区”毛细管X射线会聚透镜的微束X射线分析设备对大气颗粒物进行单颗粒分析，便于快速获得元素特征峰相对强度与单颗粒在“坪区”中位置无关的能谱，即单颗粒“指纹”谱。