[发明专利]一种阵列式微法拉第筒

权利要求书

1.一种阵列式微法拉第筒，其特征在于：所述的微法拉第筒包括气路和接收电极(2)，所述的接收电极(2)设置在气路中，且由多个接收单元(2a)采用阵列式排布而成；所述的气路贯穿在整个器件中，该气路由气路上壁(6)、气路下壁(7)、气路左壁(1)和气路右壁(5)四个壁组成。

2.按照权利要求1所述的阵列式微法拉第筒，其特征在于：所述阵列式微法拉第筒还包括前屏蔽电极(3)和后屏蔽电极(4)，所述的前屏蔽电极和后屏蔽电极沿气路方向分别设置在接收电极的前端和后端。

3.按照权利要求2所述的阵列式微法拉第筒，其特征在于：所述阵列式微法拉第筒还包括上屏蔽电极(8)和下屏蔽电极(9)，所述的上屏蔽电极(8)设置在气路上壁的外侧，下屏蔽电极(9)设置在气路下壁的外侧。

4.按照权利要求1、2或3所述的阵列式微法拉第筒，其特征在于：所述的气路上壁(6)和气路下壁(7)为绝缘材料，气路左壁(1)和气路右壁(5)为导电材料。

5.按照权利要求4所述的阵列式微法拉第筒，其特征在于：所述的接收单元的截面为圆形或多边形形状。