[发明专利]薄膜晶体管的多晶硅层及其显示器有效
申请号: | 200910126229.9 | 申请日: | 2002-11-27 |
公开(公告)号: | CN101494235A | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 李基隆 | 申请(专利权)人: | 三星移动显示器株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/786;G02F1/136;G09G3/36;H01L27/32 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 多晶 及其 显示器 | ||
【权利要求书】:
1.一种薄膜晶体管(TFT)的多晶硅层,包括:
有源沟道区,
其中,有源沟道区的长度为晶粒尺寸的整数倍。
2.如权利要求1所述的多晶硅层,其中,多晶硅层用在设置于显示区内的TFT中。
3.如权利要求1所述的多晶硅层,其中,多晶硅层用在设置于驱动电路部分内的TFT中。
4.如权利要求1所述的多晶硅层,其中,有源沟道区的长度大于2μm。
5.如权利要求1所述的多晶硅层,其中,晶粒数为2或更多。
6.如权利要求1所述的多晶硅层,其中,晶粒尺寸大于2μm。
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