[发明专利]薄膜部件取出装置

说明书

技术领域

本发明涉及薄膜部件取出装置。

背景技术

作为将所谓的胶片或薄片等的薄膜部件一张张地分离并取出的 薄膜部件取出装置，已知下述专利文献1～3所述的技术。

在作为专利文献1的特开平10-203660号公报中，记载了下述 技术：首先，以使吸附体(3a、3b)与层叠的软质薄片接触的状态保 持一定时间，将薄片加热，降低薄片间的粘接力，使其容易剥离，然 后，利用吸附体(3a、3b)吸附软质薄片，使之上浮，从气体喷嘴(5) 向薄片间的交界部分喷射气体而使之分离，然后，对于即使喷气也未 分离的薄片，通过使一侧的吸附体(3a)向另一侧的吸附体(3b)靠 近而使薄片弯曲并分离。因此，在专利文献1所述的技术中，在上浮 而取出的薄片的下表面吸附有薄片的情况下，在上浮的状态下喷射气 体或使之弯曲而使下侧的薄片下落，通过之后的吸附动作，将因下落 时的气流或弯曲时的变形或力的波动而姿态或下落位置容易不稳定 的薄片取出。

在作为专利文献2的特开2002-252441号公报中记载了下述技 术：在层叠未形成切口等的电路基板(P)的状态下，以使吸附部(13a、 13b)与装载在最上部的电路基板(P)接触的状态下进行气体的吸 引，并且使吸附部(13a、13b)相互接近·分离的电动机(M)旋转， 使吸附部(13a、13b)相互接近而使最上部的电路基板(P)从下侧 的电路基板分离，通过使移动机构11上升而将最上部的电路基板(P) 取出。

在作为专利文献3的特开2002-128297号公报中记载了下述技 术：对于收容未形成切口等的光聚合板(102)的存储盒(208)，在 利用多个吸盘(124)吸附光聚合板(102)并将其提起时，使光聚合 板(102)的周缘钩挂在形成于存储盒(208)的周缘部的分开板(66) 上而进行弯曲，使其与下方的光聚合板(102)分离而将其提起。并 且，在光聚合板(102)弯曲时，吸附周缘部的吸盘(124)从光聚合 板(102)分离。

另外，在专利文献3所述的技术中，在进行相对于存储盒(208) 的底板(212)的吸盘位置的初始设定的情况下，首先，相对于空状 态的存储盒(208)，使吸盘(124)以一定速度下降直至接触传感器 (70)与底板(212)接触。然后，一边利用吸盘(124)进行吸引， 一边使之下降一定量(0.1mm)，读入压力，反复进行下降与压力读 入，直至读入的压力达到规定值，如果所有的吸盘(124)变为与底 板(212)接触吸附的状态，则判断其与底板(212)接触，根据其位 置进行取出光聚合板(102)的控制。

专利文献1：特开平10-203660号公报(“0022”～“0024”，图3)

专利文献2：特开平2002-252441号公报(“0017”～“0018”， 图3～图5)

专利文献3：特开平2002-128297号公报(“0059”～“0060”， “0079”～“0125”图5、图7～图12)

发明内容

本发明的技术课题为，其与现有的结构相比，可以将不易分开 的形成切口的薄膜部件一张张地分离，并将其取出。

为了解决前述技术课题，技术方案1所述的发明的薄膜部件取 出装置的特征在于，具有：

收容部，其装载并收容多张形成有切口的薄膜部件；

多个吸引部，其被支撑为可以相对于被装载在前述收容部中的 多个前述薄膜部件之中位于最上面的前述薄膜部件接触·分离，并且 该多个吸引部在前端形成吸附口；

气体吸引装置，其从前述各吸附口吸入气体；

分开方向移动部件，其使前述吸引部向使前述薄膜部件被彼此 分开的方向移动；

接触分离方向移动部件，其使前述吸引部向相对于被装载的前 述薄膜部件接触·分离的接触分离方向移动；

装载部件，其可在前述收容部内升降地被支撑，并且将前述多 张薄膜部件装载在上面，该装载部件形成在与前述吸引部的重力方向 下方相对应的位置处，并且具有可以使外部气体自由流动的气流自由 部；

压力检测部件，其检测从前述吸附口吸入的气体的压力；

空盒检测单元，其根据前述压力检测部件的检测结果，判别是 否存在装载在前述装载部件上的前述薄膜部件；

装载升降部件，其使前述装载部件在前述收容部内升降；