[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置、以及执行器

权利要求书

1.一种液体喷射头，包括流路形成基板和压电元件，所述流路形成基板并列设置有多个分别与喷射液滴的喷嘴连通的压力产生室，所述压电元件包括间隔着振动板而设置在所述流路形成基板的一个面侧的下电极、压电体层、上电极，所述压电体层的端面由倾斜面构成，该倾斜面以其下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜，

构成各个压电元件的所述下电极以比所述压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且所述压电体层以比所述下电极的宽度宽的宽度形成，所述下电极的端面被所述压电体层覆盖，

所述振动板的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化钛形成，所述下电极的最表层由取向控制层构成，所述取向控制层由镍酸镧形成，

并且，所述取向控制层和至少该取向控制层上的所述压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(113)优先取向。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

在所述振动板与所述压电体层之间形成有金属层，所述金属层不与所述下电极连续，所述金属层的最表层的至少一部分由所述取向控制层构成。

3.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其中，

所述压电体层的晶体结构为菱形晶系、四方晶系或单斜晶系。

4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其中，

至少所述取向控制层上的所述压电体层由柱状结晶形成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的液体喷射头，其中，

所述绝缘体膜上的所述压电体层由柱状结晶形成。

6.如权利要求1至5中任一项所述的液体喷射头，其中，

被所述压电体层覆盖的所述下电极的端面为倾斜面，该倾斜面以其振动板侧的端部比压电体层侧的端部更靠外侧的方式倾斜。

7.如权利要求1至6中任一项所述的液体喷射头，其中，

所述下电极在所述取向控制层的下层具有导电层，所述导电层由电阻率比所述取向控制层低的材料形成。

8.如权利要求7所述的液体喷射头，其中，

所述导电层被所述取向控制层覆盖。

9.如权利要求7或8所述的液体喷射头，其中，

所述导电层由金属材料、金属材料的氧化物或它们的合金形成。

10.如权利要求9所述的液体喷射头，其中，

所述金属材料包括选自以下组中的至少一种，所述组包括铜、铝、钨、铂、铱、钌、银、镍、锇、钼、铑、钛、镁、钴。

11.如权利要求1至10中任一项所述的液体喷射头，其中，

所述压电体层的主要成分为锆钛酸铅。

12.如权利要求1至11中任一项所述的液体喷射头，其中，

所述压电体层的端面被具有耐湿性的保护膜覆盖。

13.如权利要求1至12中任一项所述的液体喷射头，其中，

所述压电体层的端面被所述上电极覆盖。

14.如权利要求13所述的液体喷射头，其中，

所述下电极与所述压力产生室相对应地独立设置并构成所述压电元件的专用电极，所述上电极在所述压力产生室的并列设置方向上跨所述压力产生室连续地设置并构成所述压电元件的共用电极。

15.一种液体喷射装置，具有权利要求1至14中任一项所述的液体喷射头。

16.一种执行器，包括振动板和压电元件，所述振动板设置在基板的一个面侧，所述压电元件包括设置在所述振动板上的下电极、压电体层、上电极，所述压电体层的端面由倾斜面构成，该倾斜面以其下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜，

所述压电体层以比所述下电极的宽度宽的宽度形成，所述下电极的端面被所述压电体层覆盖，

所述振动板的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化钛形成，所述下电极的最表层由取向控制层构成，所述取向控制层由镍酸镧形成，

并且，所述取向控制层和至少该取向控制层上的所述压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(113)优先取向。

17.如权利要求16所述的执行器，其中，

在所述振动板与所述压电体层之间形成有金属层，所述金属层与所述下电极相独立，所述金属层的最表层由所述取向控制层构成。