[发明专利]靶材结构的制作方法

权利要求书

1.一种靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供靶材，所述靶材为钽或者钽合金；

利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成金属镀层，所述金属镀层的厚度为10-50nm；

在所述金属镀层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材，所述扩散焊包括步骤：

将具有所述金属镀层的靶材和背板放到加热炉中加热到350℃至500℃，保持0.5小时至1小时后取出，再迅速加压到1.5Mpa至3Mpa，直至使它们的变形量达到30％至60％，使其结合；

将结合后的具有所述金属镀层的靶材和背板放到加热炉中加热到400℃至550℃，保持3小时至5小时后取出，进行水冷；

将淬火后的具有所述金属镀层的靶材和背板重新放回加热炉中，加热到150℃至200℃，保持7小时至9小时后取出空冷；

金属镀层的材料为铜，所述背板的材料为铜；或者金属镀层的材料为铝，所述背板的材料为铝。

2.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在进行电镀工艺之前还包括清洗所述靶材的表面的步骤。

3.根据权利要求2所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述清洗靶材表面的步骤具体为使用含有氢氟酸的溶剂进行酸洗。

4.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述电镀工艺具体包括：

将靶材接置在阴极，将镀层金属接置在阳极；

将靶材和镀层金属放入包含镀层金属离子的电镀液中，通以直流电，至少在靶材的焊接面上形成金属镀层。

5.根据权利要求4所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，将靶材放入包含镀层金属离子的电镀液具体包括将靶材全部或者仅将靶材的焊接面放入电镀液中。