[发明专利]靶材结构及其制作方法

权利要求书

1.一种靶材结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供靶材；

采用物理气相沉积工艺在靶材的焊接面上形成粘结层，所述粘结层的材 料具体为铜、镍、铬、钛或者包括有它们中任一种金属的合金；

在所述粘结层上进行扩散焊处理，将背板焊接至靶材；

其中，所述扩散焊处理包括：将形成有粘结层的靶材、背板同时放入加 热炉中升温到350℃至500℃，并保温0.5小时至1小时后取出，再迅速加 压到1.5MPa至3MPa，直至使它们的变形量达到30％至60％，其中在加压 过程中，靶材与背板通过粘结层结合在一起，构成靶材结构；将加压后的靶 材结构再放回加热炉中，升温到400℃至550℃，并保温3小时至5小时后 取出，水冷；将淬火后的靶材结构重新放回加热炉中，升温至150℃至200 ℃，并保温7小时至9小时后取出，空冷。

2.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述靶材具 体是由钽或者钽合金所制成的。

3.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，在形成粘结 层之前还包括步骤：清洗所述靶材的表面。

4.根据权利要求3所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述清洗靶 材的表面具体为使用含有氢氟酸的溶剂进行酸洗。

5.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述物理气 相沉积工艺包括利用灯丝加热后发射的电子，经电场加速、磁场聚焦后，高 速撞击置于水冷坩埚中的蒸发材料，使得蒸发材料表面的原子吸收电子携带 的动能，将温度迅速升高，在真空环境下蒸发或升华形成的低密度、非平衡 蒸汽粒子射流与靶材相撞而生长为所述粘结层。

6.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述粘结层 的厚度为10nm至3.5mm。

7.根据权利要求6所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述粘结层 的厚度为50nm至2mm。

8.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述背板具 体是由铜、铝或者包括有铜和铝中任一种金属的合金所制成的。