[发明专利]靶材组件的制作方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：

提供焊接材料，所述焊接材料包括靶材坯料和背板，所述靶材坯料为铝 或铝合金；

比较靶材坯料和背板的硬度，对硬度比较高的焊接材料进行机械加工， 对靶材坯料进行清洗处理，对所述背板进行清洗处理；

将所述靶材坯料采用模具固定，所述模具形状为能固定所述靶材坯料的 中空结构，且所述采用模具固定的工艺参数为：将模具放入加热炉中升温到 200℃至300℃，并保温0.5小时至1小时；将靶材坯料放入加热炉中升温到 200℃至300℃，并保温0.5小时至1小时，利用模具固定住靶材坯料；利用 扩散焊接将靶材坯料与背板焊接形成靶材组件。

2.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板材料 具体选自铝或者铝合金。

3.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述靶材坯料 的清洗处理具体为使用含有酒精或IPA的有机溶剂进行清洗。

4.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述机械加工 为把焊接材料的焊接面加工成螺纹状。

5.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板的清 洗处理具体为使用含有酒精或IPA的有机溶剂进行清洗。

6.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述扩散焊接 的压强为50兆帕至160兆帕。

7.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述扩散焊接 的保压时间为10分钟至60分钟。

8.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述扩散焊接 的扩散热处理温度为200℃至300℃。

9.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述扩散焊接 保温时间为3小时至5小时。