[发明专利]连续电镀铜的方法

权利要求书

1.一种连续电镀铜的方法，其是在收纳有硫酸铜镀浴的镀槽中， 使用不溶性阳极作为阳极，以被镀物为阴极，对所述被镀物进行电镀 铜的方法，在所述方法中，设置与所述镀槽不同的铜溶解槽，将镀浴 转移到该铜溶解槽中，并使镀浴从铜溶解槽返回到所述镀槽，由此使 镀浴在所述镀槽和所述铜溶解槽之间循环，通过进一步在上述铜溶解 槽中投入铜离子的补给盐并使其溶解，补给因电镀而消耗的镀浴中的 铜离子，连续进行电镀，所述方法的特征在于，在不使所述阳极和阴 极隔离或者用隔膜使镀浴可在该隔膜的阳极侧和阴极侧之间移动地将 所述阳极和阴极隔离，在镀浴从所述铜溶解槽返回到所述镀槽的过程 中，使镀浴向阳极喷射而返回到电镀中的阳极附近，使阳极附近的氧 气气泡和从所述铜溶解槽返回的镀浴混合。

2.如权利要求1所述的连续电镀铜的方法，其特征在于，在镀浴 从所述镀槽转移到所述铜溶解槽的过程中，从镀槽中与阳极相比更靠 近阴极的位置转移镀浴。

3.如权利要求1所述的连续电镀铜的方法，其特征在于，在用隔 膜使镀浴可在该隔膜的阳极侧和阴极侧之间移动地将所述阳极隔离的 同时，在镀浴从所述铜溶解槽返回到所述镀槽的过程中，使镀浴返回 到所述隔膜的阳极侧。

4.如权利要求3所述的连续电镀铜的方法，其特征在于，在用隔 膜使镀浴可在该隔膜的阳极侧和阴极侧之间移动地将所述阳极隔离的 同时，在镀浴从所述镀槽转移到所述铜溶解槽的过程中，从所述隔膜 的阴极侧转移镀浴，在镀浴从所述铜溶解槽返回到所述镀槽的过程中， 使镀浴返回到所述隔膜的阳极侧。