[发明专利]灯单元及光传感器

说明书

技术领域

本发明涉及灯单元及光传感器，特别涉及不会受到因紫外线被照射到于大气所引起的氧浓度变动的影响，能够检测紫外线的光传感器及具备该光传感器的灯单元。

背景技术

在半导体基板、液晶基板等的制造工序中，使用灯单元，该灯单元具备准分子灯，该准分子灯以基板的洗净为目的而照射真空紫外线。

以往，在这种灯单元中，在成为框体的开口部的半导体基板、液晶基板等被照射物与准分子灯之间，设置有由石英玻璃所构成的窗。但是，由于由石英玻璃所构成的窗价格昂贵，所以在近年的灯单元中，如专利文献1所记载，除去由石英玻璃所构成的窗，采用使被照射物与准分子灯接近的构造。

另外，准分子灯，因伴随其使用而老化，所照射的真空紫外线的强度逐渐降低。当所照射的真空紫外线的强度降低时，用来洗净被照射物的表面的能力也降低。因此，随时检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度，进行反馈以提高灯输入，使强度不会降低至规定值以下，在强度不能成为规定值以上的情况下，需要更换准分子灯。在专利文献1中，记载了设有检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度的光传感器。

图14是表示专利文献1所记载的灯单元200的概略结构的剖面图，该灯单元20沿着相对于准分子灯201的长度方向的垂直方向，图15是表示图14所示的准分子灯201的结构的斜视图。

如图15所示，具备长方体的放电容器202的准分子灯201，相对于长度方向的垂直方向的剖面为长方形，在放电容器202的上下两表面，以沿着放电容器202的长度方向延伸的方式分别设有外部电极203，204。设置于上表面的一方的外部电极203构成为板状，设置于下表面的另一方的外部电极204构成为网状。并且，在放电容器202的上表面设有开口部206，该开口部206是与后述的光传感器205相对向并且构成为板状的外部电极203的一部分被切削所形成的。

如图14所示，准分子灯201是以构成为网状的另一方的外部电极204与被照射物W相对向的方式，在灯单元200的框体207的内部设置了多支，如图所示为3支。框体207构成为一面呈开口的箱状，在与该开口面平行的方向，搬送被照射物W。在框体207的与前述开口面相对向的面上，设有贯通孔208，该贯通孔208导出导入光传感器205，该光传感器205用来测定来自于准分子灯201的真空紫外线。因为该贯通孔208导出导入光传感器205，所以，该贯通孔208被设置于与准分子灯201的开口部206相对向的位置。

在由框体207的贯通孔208导出导入的光传感器205中，设有萤光体209和光检测元件210，该荧光体209被准分子灯201照射真空紫外线，该光检测元件210检测由萤光体209变换的可见光。当检测来自于准分子灯201的真空紫外线时，光传感器205被汽缸211从框体207的贯通孔208导入至框体207的内部，朝准分子灯201的开口部206以一定量移动并接近。接近开口部206的光传感器205由萤光体209将真空紫外线变换成可见光，由光检测元件20来检测可见光。当检测结束时，光传感器205由汽缸211，再次通过贯通孔208而被导出至框体207的外部。此光传感器205的导出导入是由连接于光传感器205的汽缸211来进行。

专利文献1：日本特开2004-97986公报

但是，因此灯单元200，由于框体207的一面呈开口，所以，框体207的内部会成为大气状态。因此，当准分子灯201点灯时，由准分子灯201所照射的真空紫外线会与大气中的氧产生反应，因此，大气中氧浓度会变动。另一方面，伴随利用未图示的搬送机构来搬送被照射物w，框体207的内部会产生氧浓度变动了的大气对流C。因此，由于该对流C，造成光传感器205与准分子灯201之间的氧浓度变动，使得由准分子灯201所放射的真空紫外线的氧的吸收量产生变动，由光传感器205所检测的真空紫外线的强度产生变动。

如此，在框体207的一面呈开口的灯单元200中，通过搬送被照射物W，无法使框体207的内部的氧浓度成为均等，在准分子灯201与接近此准分子灯的光传感器205之间的氧浓度、和准分子灯201与被照射物W之间的氧浓度变成不同。因此，当根据由光传感器205所检测到的真空紫外线的强度，控制准分子灯201的输入时，会有对被照射物w照射规定值以上的真空紫外线的情况，也会有照射规定值以下的真空紫外线的情况，这样就无法对被照射物w照射均等的真空紫外线。