[发明专利]用于溅射装置的固定环及溅射装置

权利要求书

1.一种用于溅射装置的固定环，其特征在于，包括环体和位于环体的环形外侧面上的固定凸起，所述环体包括两端分别相连的第一半圆部分和第二半圆部分，其中第一半圆部分的外壁圆周为第一圆的一部分，第二半圆部分的外壁圆周为第二圆的一部分，在第二半圆部分上具有缺口，所述缺口将所述第二半圆部分断开，并且第一圆的直径小于第二圆的直径。

2.根据权利要求1所述的固定环，其特征在于，所述固定环的材料为钽。

3.根据权利要求2所述的固定环，其特征在于，所述第一半圆部分的外壁圆周长度大于或等于第一圆圆周长度的1/2。

4.根据权利要求3所述的固定环，其特征在于，所述的第二半圆部分外壁的圆周长度小于第二圆圆周长度的1/2，并且所述缺口位于第二半圆部分的中心处。

5.根据权利要求4所述的固定环，其特征在于，第一半圆部分外壁所在的第一圆的直径为282mm，所述固定环的第二半圆部分外壁所在的第二圆的直径为282.1mm-286.8mm。

6.根据权利要求5所述的固定环，其特征在于，所述固定凸起共有5个，以缺口为中心的第二半圆部分上在缺口两侧各有1个，所述缺口两侧的2个固定凸起距离第一圆的圆心的圆周夹角为15.5°至16°，在第一半圆部分上分布着另外3个间隔为1/4的圆周的固定凸起。

7.一种包括权利要求1所述的固定环的溅射装置，其特征在于，包括枪体和固定环，其中枪体包括圆筒部分，在圆筒部分的内壁上具有固定柱，所述固定柱位于枪体一端的圆筒部分的靠近端部的内壁上，且位于枪体内壁的同一圆周上。

8.根据权利要求7所述的溅射装置，其特征在于，所述固定柱为5个，其中在1/2圆周上分布着3个固定柱，其间隔为1/4的圆周；在另外1/2圆周的靠近中点的位置分布着2个圆周夹角为15.5°的固定柱。

9.根据权利要求8所述的溅射装置，其特征在于，圆周夹角为15.5°的固定柱的高度高于其它固定柱的高度。

10.根据权利要求9所述的溅射装置，其特征在于，圆周夹角为15.5°的固定柱的高度为22.5mm-22.9mm，其它的固定柱的高度为：22.1mm-22.4mm。