[发明专利]芯片级尺寸封装结构及其制造方法无效
申请号: | 200910128574.6 | 申请日: | 2009-03-16 |
公开(公告)号: | CN101840866A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 沈启智;陈仁川;王维中 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L21/58;H01L23/31;H01L23/34 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片级 尺寸 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明是有关于一种封装结构及其制造方法,且特别是有关于一种具有高散热效率的芯片级尺寸封装(CSP)结构及其制造方法。
背景技术
随着电子技术的日新月异,追求高速度与外型轻薄短小的高科技电子产品相继问世。而封装产业的主要功能是支持电子产品开发的需求,确保半导体封装件的速度不断提升并能充分发挥其功能,且应用的电子产品能达到轻薄短小以具有市场优势。为满足这些需求,半导体封装件的封装形式不断地发展翻新,其主要发展趋势包括:输入/输出接点(I/O Pads)数增加、信号速度加快、功率大幅上升、脚距日益缩小、连接效率(指封装件内芯片的尺寸和封装件尺寸的比值)提高、多芯片封装等等。因此,过去以导线架(Lead-Frame)的封装形式已无法满足市场的需求,封装产业一路由低阶的双列直插式封装(Dual-In-Line Package,DIP)、小外形封装(SmallOut-line Package,SOP),薄型小尺寸封装(Thin Small Outline Package,TSOP)等逐渐走向以IC载板的闸球数组(BGA)、覆晶(Flip Chip;FBGA),乃至于芯片级尺寸封装(Chip Scale Package,CSP)等高阶封装形式,构装型态一直在演变来满足终端应用市场的需求。当然,不论构装型态如何演变,外型轻薄小型化和高散热性一直都是市场追求的重要目标。
芯片级尺寸封装(CSP)结构依照芯片的设置方式大致可区分为:打线连接(WireBond)和覆晶(Flip Chip)型态的封装结构。在打线连接的CSP封装结构中,其散热途径主要为经由塑模的封装胶体(Molding Compound)的传导,将热对流至空气中。而覆晶型态的CSP封装结构中,有两条主要的散热途径:(1)覆晶经由下方锡铅凸块及底层填充材料将热传到基板中,再经由基板及锡球,将热传到外接的PCB中;和(2)热传向上通过封装胶体的传导,再将热对流至大气中。
然而由于封装胶体的传导性较差,若要想再提升封装结构的散热效率,则需要经由其它方式来改善,例如在芯片的上方接黏热扩散片(heat spread),利用其面积的增加及高热传导系数,以增加其热传量。在现有的芯片级尺寸封装结构(CSPPackage)中,不论是打线连接或是覆晶型态的CSP封装结构,若想在CSP封装结构上设置散热片以提升散热效果,需要经过复杂的制造过程来改良结构,即使改善了散热效果,也相对地提高了制造成本。
因此,如何以较简单的制造程序,制造出具高散热效果的CSP封装结构,以兼具高散热和低制造成本等优点,则为相关业者努力的一目标。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的就是在提供一种芯片级尺寸封装(CSP)结构及其制造方法,不但增加封装结构的散热效率,亦可控制封装结构的接口厚度(Bond LineThickness,BLT),制造出高散热效率和低厚度的封装产品。
根据本发明的目的,提出一种封装结构的制造方法,包括:提供一基板;设置一芯片于基板的正面,且电性连接芯片与基板;形成一导热胶(Thermal ConductivePaste)于芯片的表面;形成一封装胶体(Molding Compound)于该芯片的周围;和应用一削磨工艺(Milling)于封装胶体,使得削磨后封装胶体的高度与导热胶的高度齐平。
其中,芯片可以是利用打线接合或是覆晶接合方式设置于基板上。而导热胶可以是在削磨工艺之前、或是之后形成于芯片的表面处。
若是应用本发明于打线接合的封装结构,则可于芯片的正面(电极面)上形成导热胶,再以削磨工艺去除部分的封装胶体和部分的导热胶。
若是应用本发明于覆晶接合的封装结构,则可于芯片的背面处形成导热胶,再以削磨工艺去除部分的封装胶体和部分的导热胶;或是先于芯片的背面处形成光阻层和于基板上形成封装胶体,再以削磨工艺去除部分的封装胶体,接着再去除光阻层,并于原光阻层的位置形成导热胶,使得导热胶的高度与削磨后的封装胶体的高度齐平。
根据本发明的目的,提出一种芯片级尺寸封装结构,包括:一基板;一芯片,以打线接合或是覆晶接合方式设置于基板的正面;一导热胶,位于芯片的表面处;和一封装胶体,位于芯片的周围,且通过一削磨工艺使得封装胶体的高度与导热胶的高度齐平。
为让本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合附图,作详细说明如下:
附图说明
图1A~1H其绘示依照本发明第一实施例的芯片级尺寸封装结构的制造方法。
图2A~2H,其绘示依照本发明第二实施例的芯片级尺寸封装结构的制造方法。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造