[发明专利]机电开关及其形成方法

权利要求书

1.一种存储器装置，包括：

第一存储器单元，所述第一存储器单元具有第一字线和贮存第一 电荷的第一贮存节点；

第二存储器单元，所述第二存储器单元具有第二字线和贮存第二 电荷的第二贮存节点；

位线，所述位线具有形成在所述第一存储器单元中的第一部分和 形成在所述第二存储器单元中的第二部分；

梁线，所述梁线被形成为具有所述第一存储器单元中的第一部分 和所述第二存储器单元中的第二部分，所述梁线被电连接到所述位线，

其中当所述第一字线被赋予能量时，所述梁线的所述第一部分的 末端移动，以连接到所述第一贮存节点，并且当所述第二字线被赋予 能量时，所述梁线的所述第二部分的末端移动，以连接到所述第二贮 存节点，

其中所述位线和所述梁线通过接触栓塞连接，并且所述梁线的中 心被锚定在所述接触栓塞上。

2.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述梁线相对于所述接 触栓塞基本上对称。

3.如权利要求1所述的存储器装置，其中电压感测电路连接到所 述位线的末端。

4.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述梁线的所述第一部 分的末端从第一位置移到第二位置，用于读出贮存在所述第一贮存节 点内的所述第一电荷或者用于将所述第一电荷写入到所述第一贮存节 点。

5.如权利要求4所述的存储器装置，其中当所述第一字线被赋予 能量时，所述梁线的所述第一部分的末端处于所述第二位置，以接触 所述第一贮存节点。

6.如权利要求4所述的存储器装置，其中所述第一位置和所述第 二位置之间的第一距离与所述第一字线和所述梁线的对应部分之间的 第二距离基本上相同。

7.如权利要求4所述的存储器装置，其中所述第一位置和所述第 二位置之间的第一距离小于所述第一字线和所述梁线的对应部分之间 的第二距离。

8.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述梁线包括至少两层。

9.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述梁线基本上比所述 位线短。

10.如权利要求1所述的存储器装置，其中当施加电压时，所述 第一字线被赋予能量。

11.如权利要求1所述的存储器装置，还包括上面形成有所述位 线的衬底，其中所述衬底包含玻璃、半导体和塑料中的至少一种。

12.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述第一贮存节点包 括电容器，所述电容器包括第一电极、电介质层和第二电极。

13.如权利要求12所述的存储器装置，其中所述第一电极接收所 述梁线的所述第一部分的末端，并且所述第二电极形成在传导板上。

14.如权利要求1所述的存储器装置，其中所述第一贮存节点包 括由绝缘体环绕的传导图案。

15.如权利要求1所述的存储器装置，还包括传导板，在该传导 板上形成所述第一贮存节点。

16.一种存储器装置，包括：

连接到位线的第一对存储器单元，所述第一对存储器单元具有第 一梁线；

第二对存储器单元，所述第二对存储器单元邻近于所述第一对存 储器单元形成并被连接到所述位线，所述第二对存储器单元具有第二 梁线，

其中当相应字线被赋予能量时，每个所述梁线移动，以连接到贮 存电荷的相应贮存节点，

其中所述位线和每个所述梁线通过相应接触栓塞电连接，并且每 个所述梁线被锚定在相应接触栓塞上。

17.如权利要求16所述的存储器装置，其中每个所述梁线相对于 相应接触栓塞基本上对称。

18.如权利要求16所述的存储器装置，其中电压感测电路被连接 到所述位线的末端。