[发明专利]具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置

说明书

技术领域：

本发明涉及一种具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置，尤其 涉及一种可应用于用于制造平板显示元件用基板的狭缝涂敷工艺中 的狭缝式涂敷装置，其具备可以有效去除狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip) 上粘附的药液或者异物、并可减少清洗液使用量的喷嘴唇口清洗装 置。

背景技术：

通常，在平板显示元件用基板上边进行照相平版印刷 (Photolithography)工艺边形成电路图案。照相平版印刷工艺是， 首先在基板上涂敷预定厚度的感光液，再对感光液(光刻胶)进行曝 光、显影，然后再进行蚀刻工序，从而在基板上形成电路图案的工程。

这种照相平版印刷工艺中尤其重要的是，涂敷感光液工序中在基 板的薄膜上形成预定厚度、分布均匀的感光层。若感光层的厚度比标 准厚度厚或者薄，蚀刻就会进行得不均匀。

如此，在基板上涂敷感光液的工序一般可以是使用旋涂装置 (spin coater)的旋转涂敷方式、以及使用狭缝式涂敷机(Slit coater) 的非旋转涂敷方式。

如上所述的2种涂敷方式中，由于旋转涂敷方式随着作业环境(基 板的旋转速度和溶剂的蒸发)的不同而形成不规则表面，因此感光液 涂敷工序中主要使用具备狭缝式涂敷装置的非旋转涂覆方式。非旋转 涂敷方式边通过狭缝式涂敷装置的狭缝喷嘴涂敷感光液，边在基板的 薄膜上形成具有预定厚度的照相平版印刷用感光层(光刻胶层)。

这种涂敷工序使狭缝喷嘴的喷嘴唇口(lip)部分容易粘附感光液 的残留物，因此只有随时去除所述残留的物质才能够保持均匀的涂覆 质量。例如，若狭缝喷嘴的喷嘴唇口部分的感光液残留物质或者异物 在粘附状态下凝固，感光液的喷出就会显得不规则，从而会成为导致 涂敷质量下降的因素。

因此，需要利用清洗装置对狭缝喷嘴的喷嘴唇口部分进行清洗。 所述狭缝喷嘴唇口的清洗装置，首先通过清洗液喷射单元向喷嘴喷射 溶剂等清洗液进行清洗，然后再通过干燥气体喷射单元向喷嘴喷射气 体，以此来干燥喷嘴。

上述现有的狭缝喷嘴的清洗装置将溶剂等清洗液直接喷射到狭 缝喷嘴上而对狭缝喷嘴进行清洗，因此导致清洗液使用量过多，成本 增加。而且，现有狭缝喷嘴的清洗装置对狭缝喷嘴唇口(lip)的清洗 效果有必要实现最大化，然而现有的清洗装置未能使清洗效果达到最 大化，从而会发生感光液涂敷不良的现象。

发明内容：

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种具备可以使狭缝喷嘴 唇口的清洗效果达到最大化、并以减少清洗液使用量来降低生产成本 的喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置。

为了实现上述目的，本发明提供一种狭缝式涂敷装置，其包括： 工作台；狭缝喷嘴，其设置于所述工作台上部，用于涂敷药液；移动 单元，其用于移动所述狭缝喷嘴或基板；唇口清洗单元，其将由清洗 液和气体混合而成的混合流体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口上并对其 进行清洗；唇口干燥单元，其将干燥气体喷射到所述狭缝喷嘴的唇口； 以及驱动单元，其设置于所述工作台的一侧，用于移动所述唇口清洗 单元及所述干燥单元。

另外，本发明还提供一种狭缝式涂敷装置，其包括：工作台，用 于放置基板；第一驱动单元，设置在所述工作台上；移动单元，与所 述第一驱动单元相结合，并进行直线移动；喷嘴支撑单元，与所述移 动单元相结合并进行上下移动；狭缝喷嘴，与所述喷嘴支撑单元相结 合；第二驱动单元，设置于所述工作台的一侧；唇口清洗单元，设置 在所述第二驱动单元上，并向所述狭缝喷嘴的唇口喷射由清洗液和气 体混合而成的混合流体，对唇口进行清洗；唇口干燥单元，设置在所 述第二驱动单元上，并向所述狭缝喷嘴的唇口喷射干燥气体。

所述唇口清洗单元包括：第一供给单元，用于供给清洗液；第二 供给单元，设置于所述第一供给单元的一侧而供给气体；以及喷射单 元，将由所述第一供给单元及所述第二供给单元分别供给的清洗液和 气体混合后，喷射该混合气体。

所述第一供给单元最好包括：第一本体；清洗液供给管道，设置 在所述第一本体上，并从清洗液供给装置接收清洗液；清洗液腔室， 与所述清洗液供给管道连接；以及第一连接管道，连接在所述清洗液 腔室和所述喷射单元之间。