[发明专利]压电材料及压电元件有效
| 申请号： | 200910129911.3 | 申请日： | 2009-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101552317A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 滨田泰彰;木岛健 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/18;B41J2/135 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 材料 元件 | ||
1.一种压电元件，其特征在于，其具有：
第一电极、配置于所述第一电极上的压电体膜、配置于所述压电体膜 上的第二电极，
构成所述压电体膜的压电材料为由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti) O3的混合晶构成的压电材料，
所述压电材料由组成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示，且0＜x＜0.40、0.01＜y＜0.10及0＜u＜0.16。
2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，
所述第一电极及第二电极由金属或导电性氧化物的单一成分或它们 的层叠体构成。
3.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，
所述第一电极或第二电极由Pt、Ir、Au、Ti、Zr、Fe、Mn、Ni、Co、 IrO2、Nb：SrTiO3、La：SrTiO3、SrRuO3、LaNiO3、(La、Sr)FeO3、(La、 Sr)CoO3中的任一种或它们的层叠体构成。
4.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，
所述第一电极、压电材料膜及第二电极形成在基体上。
5.如权利要求4所述的压电元件，其特征在于，
所述基体由半导体材料、金属、陶瓷、玻璃中的任一种构成。
6.如权利要求4所述的压电元件，其特征在于，
构成所述基体的材料具有熔点或玻璃化温度，且熔点及玻璃化温度为 650℃以上。
7.一种液体喷射头，其特征在于，
含有权利要求1～6中任一项所述的压电元件。
8.一种液体喷射装置，其特征在于，
含有权利要求7所述的液体喷射头。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910129911.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：方便吊挂电风扇的蚊帐
- 下一篇：半导体器件及其制造方法
