[发明专利]照明用光源及使用其的图案检查装置

权利要求书

1.一种照明用光源，其特征在于：

向被照射区域照射平行光的面光源，在同一平面上环状地配置多个，

各面光源的大小为，被照射于被照明区域面上的来自各面光源的光的 照射区域包含被照明区域全体的大小。

2.如权利要求1所述的照明用光源，其特征在于：

上述多个面光源，是将多个LED于同一平面上排列多个而构成，

各面光源内的LED，以来自各面光源的平行光被照明于被照明区域的 方式，朝向配置有各面光源的环状的内侧倾斜排列。

3.如权利要求1所述的照明用光源，其特征在于：

上述多个面光源，是在多个LED的光射出侧将棱镜板环状地配置多个 而构成，所述棱镜板将从上述多个LED射出的光作为平行光而射出，

构成各面光源的棱镜板，以来自各棱镜板的平行光被照明在被照明区 域的方式，使从各LED射出的光向配置有各面光源的环状内侧折射。

4.一种图案检查装置，具备：

暗视场照明单元，对于形成有图案的工件从斜向照射反射照明光；

摄像单元，对通过上述暗视场照明单元所照明的上述图案进行拍摄；

保持工件的工件保持单元；及

控制部，根据通过上述摄像单元所拍摄的图案像来判定图案的优劣， 其特征在于，

暗视场照明单元是权利要求1、2或权利要求3中所述的照明用光源。