[发明专利]靶材与背板的焊接结构及方法无效
| 申请号： | 200910130847.0 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101537533A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;毛立鼎;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/14 | 分类号： | B23K20/14;B23K20/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背板 焊接 结构 方法 | ||
1.一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：
提供钛靶材和铝背板；
在铝背板上形成凹槽；
将钛靶材安装至凹槽内；
采用热等静压方法将钛靶材与铝背板进行焊接。
2.根据权利要求1所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，形成凹槽的工艺为机械加工。
3.根据权利要求2所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，所述凹槽的尺寸与钛靶材一致。
4.根据权利要求1所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，将钛靶材放入凹槽内之前还包括：
对铝背板表面进行粗糙度加工；
对钛靶材和铝背板进行清洗。
5.根据权利要求4所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，清洗钛靶材的溶液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液，其中氢氟酸∶硝酸∶水＝1∶10∶50～1∶3∶50。
6.根据权利要求4所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，清洗铝背板的溶液为酒精，浓度为50％。
7.根据权利要求1所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，将钛靶材安装至凹槽内之后还包括：将钛靶材和铝背板放入真空包套内；对真空包套进行抽真空。
8.根据权利要求1所述的靶材与背板的焊接方法，其特征在于，所述热等静压处理进行焊接时，其加热温度为600℃，升温时间为3小时，降温时间为6小时，压强为50MPa。
9.一种靶材与背板的焊接结构，其特征在于，包括：
铝背板，所述铝背板内形成有凹槽；
采用热等静压方法与所述铝背板中凹槽配合的钛靶材。
10.根据权利要求9所述的靶材与背板的焊接结构，其特征在于，所述凹槽的尺寸与钛靶材一致。
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