[发明专利]用于激光照射系统的基于延迟器的去散斑器件

权利要求书

1.一种在激光照射系统中抑制散斑的方法，其包括：

在光束中插入去散斑器件，所述光束包括从所述激光照射系统中的相干激光器发射 的光，所述去散斑器件包括用于为从所述相干激光器发射的光提供实质上半波延迟的奇 数倍的光学延迟器，所述光学延迟器具有实质上不变的延迟和在空间上变化的慢轴，所 述在空间上变化的慢轴用于对所述光束强加相位掩模，所述相位掩模用于对探测器上的 分辨光斑提供光学亚分辨相位调制；

以及启动所述光学延迟器，使得所述光学亚分辨相位调制在所述探测器的积分时间 内变化，并使得从一个被探测的分辨光斑到另一个被探测的分辨光斑的强度不均匀性减 小。

2.如权利要求1所述的方法，其中启动所述光学延迟器的步骤包括旋转或振动所 述光学延迟器，使得所述光束的横截面的子截面在所述探测器的所述积分时间内对所述 相位掩模的多个区域采样。

3.如权利要求1所述的方法，其中启动所述光学延迟器的步骤包括电子地启动液 晶单元，使得所述单元内的局部慢轴方向在所述探测器的所述积分时间内在所述单元的 平面内旋转。

4.一种用于在激光照射系统中抑制散斑的装置，所述装置包括：

去散斑器件，其包括用于为从所述激光照射系统中的相干激光器发射的光提供实质 上半波延迟的奇数倍的光学延迟器，所述光学延迟器具有实质上不变的延迟和在空间上 变化的慢轴，所述在空间上变化的慢轴用于对所述光束强加相位掩模，所述光束包括从 所述相干激光器发射的光，所述相位掩模用于对探测器上的分辨光斑提供光学亚分辨率 相位调制；以及

致动器，其用于启动所述光学延迟器，使得所述光学亚分辨率相位调制在所述探测 器的积分时间内变化，并使得从一个被探测的分辨光斑到另一个被探测的分辨光斑的强 度不均匀性减小。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述去散斑器件包括布置在所述光学延迟器的 第一侧上的第一四分之一波片，用于将光束从具有第一偏振的线偏振光转换成具有第一 旋向的圆偏振光，所述第一四分之一波片相对于所述第一偏振在实质上±45度处轴定向。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述去散斑器件包括布置在所述光学延迟器的 第二相对侧上的第二四分之一波片，用于将具有第二相反旋向的圆偏振光转换成具有第 二偏振的线偏振光，所述第二四分之一波片相对于所述第一偏振在实质上±45度处轴定 向，所述第二偏振为垂直于或平行于所述第一偏振，由此具有在空间上变化的慢轴的所 述光学延迟器根据所述光学延迟器的局部慢轴方向将具有第一旋向的圆偏振光转换成 具有第二旋向的圆偏振光，使得所述光学亚分辨相位调制是几何相位调制。

7.如权利要求6所述的装置，其中所述第一四分之一波片和第二四分之一波片是 消色差四分之一波片。

8.如权利要求4到7中任一项所述的装置，其中所述光学延迟器包括被置于第一 板和第二板之间的液晶，且其中所述致动器包括用于在所述液晶的区域横穿施加电压的 多个压花电极，所施加的电压用于在其中的平面中旋转所述液晶的局部慢轴方向并提供 变化的光学亚分辨相位调制。

9.如权利要求4到7中任一项所述的装置，其中所述在空间上变化的慢轴是固定 的，且其中所述致动器包括用于移动所述光学延迟器的电机，使得所述光束的横截面的 子截面对所述相位掩模的多个区域采样，并提供变化的光学亚分辨相位调制。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述电机提供所述光学延迟器的线性平移或旋 转平移。

11.如权利要求9所述的装置，其中所述光学延迟器包括液晶聚合物。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述液晶聚合物被涂覆在取向层上，所述取 向层为未对齐的、随机排列的和准随机排列的取向层的其中一种。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述取向层包括线性可聚合的聚合物。

14.如权利要求4到7中任一项所述的装置，其中所述在空间上变化的慢轴包括多 个慢轴方向，每个慢轴方向实质上平行于所述光学延迟器的平面。