[发明专利]一种光刻机硅片台双台交换系统

权利要求书

1.一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位(6)的第一硅片台(10)和运行于预处理工位(7)的第二硅片台(12)，每个硅片台分别由一个六自由度微动台承载，硅片台和六自由度微动台构成一个硅片台组，六自由度微动台采用洛伦兹电机驱动，所述的两个硅片台设置在一长方形基台上表面(2)，设长边为X方向，短边为Y方向，在基台(1)两长边分别设有X方向第一双自由度驱动单元(21a)和X方向第二双自由度驱动单元(21b)，两短边分别设有Y方向第一双自由度驱动单元(22a)和Y方向第二双自由度驱动单元(22b)，双自由度驱动单元由上直线电机和下直线电机进行驱动，其特征在于：每个硅片台组的六自由度微动台有上下两层驱动器，上层为水平方向驱动器，下层为垂直方向驱动器，上层驱动器实现X方向、Y方向和绕Z轴旋转的运动，下层驱动器实现Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的运动；第一六自由度微动台基座与X方向第一双自由度驱动单元(21a)的推杆(35)固定，第一硅片台六自由度微动台上层驱动器的定子线圈与Y方向第一双自由度驱动单元(22a)的推杆(35)固定；相同的，X方向第二双自由度驱动单元(21b)的推杆与第二六自由度微动台基座固结，Y方向第二双自由度驱动单元(22b)的推杆与第二硅片台六自由度微动台上层驱动器定子线圈固结；

该系统双硅片台的交换过程：在交换时，首先，两硅片台组六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)分别与对应的上层驱动器动子磁钢(64)完全分离，两六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)不交换，两硅片台交换工位，然后，位于曝光工位的六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)插入运行至曝光工位的六自由度微动台上层驱动器动子磁钢(64)间隙内，位于预处理工位的六自由度微动台上层驱动器的定子线圈(63)插入运行至预处理工位的六自由度微动台上层驱动器动子磁钢(64)间隙内，之后进入下一工作循环；六自由度微动台的上下两层驱动器的动子磁钢均固定在同一个骨架上并悬浮在硅片台中；当六自由度微动台停止工作时，微动台下层驱动器悬浮的动子磁钢(66)落在机械零位(67)上。

2.按照权利要求1所述的一种光刻机硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的六自由度微动台的上层驱动器使用至少3个洛伦兹电机；下层驱动器至少使用3个洛伦兹电机。

3.按照权利要求2所述的一种光刻机硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的六自由度微动台的上层驱动器使用4个洛伦兹电机，六自由度微动台的下层驱动器使用4个洛伦兹电机。

4.按照权利要求1所述的一种光刻机硅片台双台交换系统，其特征在于：在所述的双自由度驱动单元的上直线电机的导轨和下直线电机的导轨上分别安装有用作双自由度驱动单元位置反馈的线性光栅。

5.按照权利要求1所述的一种光刻机硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的光刻机硅片台双台交换系统还包含用于硅片台运动位置反馈的双频激光干涉仪。