[发明专利]具有透明粘结结构的光电元件及其制造方法有效
申请号: | 200910132205.4 | 申请日: | 2009-04-28 |
公开(公告)号: | CN101877378A | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 姚久琳;苏英阳;杨雅兰 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L31/18;H01L31/00;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 透明 粘结 结构 光电 元件 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种光电元件,尤其涉及一种具有透明粘结结构的发光元件。
背景技术
光电元件包含许多种类,例如发光二极管(Light-emitting Diode;LED)、太阳能电池(Solar Cell)或光电二极管(Photo diode)等。以LED为例,LED为一种固态半导体元件,其至少包含一p-n结(p-njunction),此p-n结形成于p型与n型半导体层之间。当于p-n结上施加一定程度的偏压时,p型半导体层中的空穴与n型半导体层中的电子会结合而释放出光。此光产生的区域一般又称为发光区(light-emitting region)。
LED的主要特征在于尺寸小、发光效率高、寿命长、反应快速、可靠度高和色度良好,目前已经广泛使用在电器、汽车、招牌和交通号志上。随着全彩LED的问世,LED已逐渐取代传统的照明设备,如荧光灯和白热灯泡。
由于石化能源短缺,且人们对环保重要性的认知提高,因此人们近年来不断地积极研发替代能源与再生能源的相关技术,希望可以减少目前人类对于石化能源的依赖程度,以及使用石化能源时对环境带来的影响。在众多的替代能源与再生能源的技术中,以太阳能电池(solar cells)最受瞩目。主要是因为太阳能电池可直接将太阳能转换成电能,且发电过程中不会产生二氧化碳或氮化物等有害物质,不会对环境造成污染。
上述光电元件可进一步地以基板经由焊块或胶材与基座连接,以形成发光装置或吸光装置。另外,基座还具有至少一电路,经由导电结构,例如金属线,电连接光电元件的电极。
发明内容
依据本发明的第一实施例的制造方法,提供第一半导体叠层,其中第一半导体叠层至少包含第一有源层;提供支持基板;分别形成第一透明粘结层于支持基板之上与第二透明粘结层于第一半导体叠层的第一表面之下;平坦化第一透明粘结层与第二透明粘结层的表面;以活化剂处理第一透明粘结层与第二透明粘结层被平坦化的表面,其中第一透明粘结层与第二透明粘结层被平坦化的表面被活化剂处理后含有氢氧键;提供连接步骤,连接步骤包含以第一透明粘结层与第二透明粘结层连接第一半导体叠层与支持基板;以及形成第二电极于第一半导体叠层的第二表面之上。
依据本发明的第二实施例,还包含第三透明粘结层位于第一半导体叠层的第二表面之上;第四透明粘结层位于第三透明粘结层之上;以及第二半导体叠层位于第四透明粘结层之上,第二电极位于第二半导体叠层之上。
本发明的第三实施例与第一实施例相似,差异在于第一电极位于第二半导体层之上。第一电极与第二电极皆位于支持基板的同一侧,为水平式结构。
本发明的第四实施例与第一实施例相似,差异在于第一透明粘结结构仅包含第二透明粘结层,第一中介层位于第二透明粘结层与支持基板相邻的表面之间。
本发明的第五实施例与第二实施例相似,差异在于第一透明粘结结构仅包含第二透明粘结层,第一中介层位于第二透明粘结层与支持基板相邻的表面之间。第二透明粘结结构仅包含第四透明粘结层,第二中介层位于第四透明粘结层与第一半导体叠层相邻的表面之间。
附图说明
附图用以促进对本发明的理解,为本说明书的一部分。附图的实施例配合实施方式的说明以解释本发明的原理。
图1A-1B为依据本发明的第一实施例的制造流程剖面图。
图2为依据本发明的第二实施例的剖面图。
图3为依据本发明的第三实施例的剖面图。
图4为依据本发明的第四实施例的剖面图。
图5为依据本发明的第五实施例的剖面图。
图6为示意图,显示利用本发明实施例所组成的光源产生装置的示意图。
图7为示意图,显示利用本发明实施例所组成的背光模块的示意图。
附图标记说明
生长基板:10 支持基板:11
第一半导体叠层:12 第一半导体叠层的第一表面:121
第一半导体层:122 第一半导体叠层的第二表面:123
第一有源层:124 第二半导体层:126
第一透明粘结层:13 第一透明粘结层的表面:132
气室:134、164、222、242 窗户层:14
第一中介层:15 第二透明粘结层:16
第二透明粘结层的表面:162 第一电极:17
连接部:172 第二电极:18
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