[发明专利]叠层型压电元件及其制造方法

权利要求书

1.一种叠层型压电元件，其特征在于，具有：

叠层体，其具有活性部和位于该活性部的两端部分别由压电材料构成的惰性层，所述活性部是交替叠层至少1个压电体与由第一内部电极及第二内部电极构成的多个内部电极而成的，所述活性部与外加在所述第一内部电极及所述第二内部电极之间的电压相对应进行伸缩，

外部电极，其分别形成在所述叠层体的2个侧面上，其中之一与所述第一内部电极相连接、其中之另一个与所述第二内部电极相连接，

所述叠层体的惰性层包含被分散的金属。

2.根据权利要求1所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述金属是由选自Ag、Pd、Cu、Ca、Na、Pb、Ni构成的群组中的至少1种以上的金属构成的。

3.根据权利要求1或2所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述金属的分散量相对于所述惰性层为0.001～1.0质量％。

4.根据权利要求1或2所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述惰性层的厚度为0.1～2.0mm。

5.根据权利要求1或2所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述金属含有与构成所述内部电极的金属相同的金属。

6.根据权利要求1所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述内部电极中的金属组成物以8～10族金属及/或11族金属为主成分。

7.根据权利要求6所述的叠层型压电元件，其特征在于：

在所述内部电极中的8～10族金属的含有量设为M1质量％、11族金属的含有量设为M2质量％时，满足0＜M1≤15、85≤M2＜100、M1+M2＝100。

8.根据权利要求6或7所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述8～10族金属是Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru、Os中的至少1种以上，11族金属是Cu、Ag、Au中的至少1种以上。

9.根据权利要求6所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述8～10族金属是Pt、Pd中的至少1种以上，11族金属是Ag、Au中的至少1种以上。

10.根据权利要求6或7所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述8～10族金属是Ni。

11.根据权利要求6或7所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述11族金属是Cu。

12.根据权利要求6或7所述的叠层型压电元件，其特征在于：

在所述内部电极中与所述金属组成物一起添加了氧化物、氮化物或碳化物。

13.根据权利要求12所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述氧化物以由PbZrO₃-PbTiO₃构成的钙钛矿型氧化物为主成分。

14.根据权利要求1所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述压电体以钙钛矿型氧化物为主成分。

15.根据权利要求14所述的叠层型压电元件，其特征在于：

所述压电体以由PbZrO₃-PbTiO₃构成的钙钛矿型氧化物为主成分。

16根据权利要求1所述的叠层型压电元件，其特征在于：

在所述叠层体的所述2个侧面中的一个侧面上的所述第二内部电极与所述外部电极之间形成有槽，在另一个侧面上的所述第一内部电极与所述外部电极之间形成有槽，

在所述槽中分别填充有杨氏模量比所述压电体低的绝缘体。