[发明专利]外观检查系统

说明书

技术领域

本发明涉及在利用摄像装置对面板基板等被检查物的外观进行摄像，并通过图像处理检查有无缺陷部位时适用的外观检查系统。

背景技术

以往，作为利用摄像部对包括多个液晶显示用面板的面板基板等被检查物的外观进行摄像，并通过图像处理检查有无缺陷部位(视觉性不良点)的外观检查系统，已经公知由本申请人提出的专利文献1中公开的基板用自动检查装置。

该基板用自动检查装置(外观检查系统)具备：搬送被检查基板的搬送部；检测所搬送的被检查基板的视觉性不良点的检测部；以及根据来自该检测部的检测信息自动地标记到被检测基板的视觉性不良点的标记部，其中，具备：支撑被检测基板的下表面的左右两侧的一对支撑辊机构；与支撑在该支撑辊机构上的被检测基板的左右的端边抵接而进行被检测基板的左右方向的位置限制的一对限制辊机构；卡合到被检测基板的前后的端边而移送被检测基板的移送机构；以及具有向所移送的被检测基板的下表面吹入压力空气而限制被检测基板向下方弯曲的空气吹入机构的搬送部，可以实现检查的高速化并提高产品的生产性。

专利文献1：日本特开2000-193604号

发明内容

(本发明要解决的问题)

但是，上述以往的外观检查系统(基板用自动检查装置)存在下述那样的应解决的课题。

第一，在来自检测被检查基板的视觉性不良点的检测部的检测信息中，包括以视觉性不良点的大小、种类等为首的视觉性不良点的位置信息。从附加设置在搬送机构中的编码器等得到该位置信息特别是搬送方向(Y坐标方向)的位置信息，但由于该位置信息成为所谓间接地检测被检查基板的位置而得到的位置信息，所以在得到高精度的位置信息时存在界限，对于液晶显示用面板那样的要求高度的位置精度的被检查物来说，无法确保充分的精度。即，在检查液晶显示元件用滤色片中的微小着色图案的缺陷的情况下，通常要求几十(μm)左右的位置精度，所以无法对应于这样的检查用途。

第二，在要求高度的位置精度的被检查物中，为了提高检查精度，在搬送机构中，要求高精度(高精密)且刚性以及可靠性高的机械部件，搬送机构的成本比率变得相当大。特别，在如液晶显示用面板那样进行着产品的大型化的情况下，搬送机构的成本比率进一步变大，而无法忽视成本上升。

本发明的目的在于提供一种解决了这样的背景技术中存在的课题的外观检查系统。

(用于解决问题的手段)

本发明为了解决上述课题，提供一种外观检查系统1，利用摄像部V拍摄被检查物P的外观，并通过图像处理检查有无缺陷部位，其特征在于，具备：编码器图案显示部2，具有在被检查物P上显示、并且至少显示与被检查物P的搬送方向Fy(Y坐标方向)上的Y坐标位置对应的编码器图案的Y坐标图案部2y；以及检查装置3，具有从在检测缺陷部位时利用摄像部V拍摄该编码器图案显示部2而得到的图案信号Sp中检测与缺陷部位的位置对应的至少Y坐标位置的检测处理部4。

在该情况下，根据本发明的优选的方式，可以在被检查物P中使用包括一个或两个以上的平板显示器Pd...的面板基板Po，并可以在该面板基板Po的空白部位Bp中显示编码器图案显示部2。另外，在编码器图案显示部2中，除了Y坐标图案部2y以外，还可以包括显示与相对Y坐标方向成为垂直的X坐标方向上的X坐标位置对应的编码器图案的X坐标图案部2x。另一方面，编码器图案显示部2既可以使用能够通过递增方式依次检测的多个图案要素2e...，也可以使用能够通过绝对方式检测且分别附加了绝对坐标的多个图案要素2s...。另外，在摄像部V中，可以使用一个或两个以上的线传感器照相机Vc...，特别，优选通过在线传感器照相机Vc...中使用线CCD而将摄像部V的分辨率设定为5(μm)以上。

(发明效果)

根据具有这样的结构的本发明的外观检查系统1，起到如下那样的显著的效果。

(1)由于具备：在被检查物P上显示的编码器图案显示部2；以及具有从在检测缺陷部位时利用摄像部V拍摄的编码器图案显示部2的图案信号Sp中检测与缺陷部位的位置对应的至少Y坐标位置的检测处理部4的检查装置3，所以可以从该被检查物P自身直接检测被检查物P中的缺陷部位的坐标位置。因此，不会受到搬送机构的影响，而可以可靠且稳定地得到高精度的位置信息。

(2)在检查被检查物P中的缺陷部位的坐标位置时，不会受到搬送机构的影响，所以在搬送机构中不要求高精度(高精密)且刚性以及可靠性高的机械部件。因此，可以包括搬送机构的形式选定而实现大幅的成本降低，并且还可以有利于外观检查系统1的小型化、轻量化以及节能性提高。