[发明专利]切削刀具

说明书

技术领域

本发明涉及安装在切削装置的主轴上的、对被加工物进行切削的切 削刀具。

背景技术

关于一般被称为切割机的切削装置，在主轴的前端安装凸缘支座， 在该凸缘支座上安装具有薄切削刃的切削刀具并利用螺母进行固定，该 切削装置使用于这样的领域：将形成有IC(Integrated Circuit：集成电路) 或者LSI(Large Scale Integration：大规模集成电路)等的硅晶片、形成 有光波导等的铌酸锂(LN)等的陶瓷基板、树脂基板、玻璃板等切断， 从而分割成一个个的LSI芯片、电子器件或者光器件。

在使用于切削装置中的切削刀具中，有被称为轮毂刀具的切削刀具。 该轮毂刀具通过在圆形基座的外周电沉积切削刃而构成，其中，上述圆 形基座具有为了容易把持(hangding)而形成的圆形轮毂，上述切削刃是 将金刚石磨粒分散在镍母材中而形成的。

将这样的切削刀具安装在主轴上，并使切削刀具与主轴一起以大约 20000～60000rpm的速度旋转，来切削晶片等被加工物，从而分割成一个 个的器件等。

由于利用切削刀具进行的切削是通过细微的脆性破坏来完成的，所 以在切削过的被加工物的外周会产生被称为崩碎(chipping)的微米级的 细微缺口。由于这样的缺口有可能会降低被加工物的特性和抗弯强度等， 因此希望将缺口抑制得尽可能小。一般来说，当使切削刀具高速旋转时， 每1个磨粒的工作量减少，因此抑制了所产生的缺口的大小。

专利文献1：日本特开2002-307208号公报

另一方面，当切削刀具高速旋转时，切削刀具因离心力而向切削刀 具的外周方向伸长。然而，轮毂刀具的切削刃呈环状地形成在圆形基座 的一侧面外周部上，轮毂刀具的形状形成为圆形轮毂侧和切削刃侧不对 称。

由此，当使轮毂刀具高速旋转时，切削刃部分的伸长量比具有圆形 轮毂的基座部分的伸长量要大，其结果为，产生了切削刃向基座侧倾倒 的现象。这样的现象虽然也与切削刀具的种类有关，但在60000rpm以上 的高速旋转中特别明显。

如果在切削刃向基座侧倾倒的状态下进行切削，则会产生以下问题： 发生由加工载荷的偏置所引起的崩碎的增大或切削刀具的扭曲等，进而 会使切削刀具或被加工物破损。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供在高速旋转时 不会产生切削刃的倾倒的切削刀具。

根据第一方面所述的发明，提供一种切削刀具，其安装在切削装置 的主轴的前端部，并且至少具有：圆形基座，其上一体地形成有圆形轮 毂；和切削刃，其形成在上述圆形基座的与上述圆形轮毂相反一侧的侧 面外周部上，上述切削刀具的特征在于，在上述圆形轮毂上形成有圆形 或环状的锪孔部，将该锪孔部的外周侧作为环状平衡部。

根据第二方面所述的发明，提供一种切削刀具，其安装在切削装置 的主轴的前端部，并且至少具有：圆形基座，其上一体地形成有圆形轮 毂；切削刃，其形成在上述圆形基座的与上述圆形轮毂相反一侧的侧面 外周部上；和环状的带锥度部分，其将上述圆形基座的外周和上述圆形 轮毂的基部连接起来，上述切削刀具的特征在于，在上述环状的带锥度 部分的与上述圆形轮毂连接的连接部分形成有环状的切口。

根据第一方面所述的发明，在圆形轮毂上形成有圆形或环状的锪孔 部，将该锪孔部的外周侧作为环状平衡部，由此，高速旋转时的基座侧 和切削刃侧的伸长量相等，能够防止切削刃的倾倒。因此，能够实现高 速旋转下的切削加工，能够抑制切削时的崩碎的产生。

根据第二方面所述的发明，在环状的带锥度部分的与圆形轮毂连接 的连接部分形成有环状的切口，由此，高速旋转时的基座侧和切削刃侧 的伸长量相等，能够防止切削刃的倾倒。因此，能够实现高速旋转下的 切削加工，能够抑制切削时的崩碎的产生。

附图说明

图1是切削装置的外观立体图。

图2是表示与框架成为了一体的晶片的立体图。

图3是表示将切削刀具安装到主轴上的状况的分解立体图。

图4是表示支座凸缘安装结构的其它实施方式的分解立体图。

图5是现有的切削刀具的纵剖视图。

图6的(A)是本发明第一实施方式的纵剖视图，图6的(B)是第 二实施方式的纵剖视图。