[发明专利]光刻胶树脂、及利用其形成图案的方法和制造显示面板的方法

权利要求书

1.一种光刻胶树脂组合物，包括碱溶性树脂、光刻胶化合物、和 溶剂，其中，所述碱溶性树脂包括由以下的化学式1表示的第 一聚合物树脂，

化学式1

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆中的至少一个是羟基， 至少两个是甲基，其余的任意基团是氢，而R₇、R₈、R₉、R₁₀和R₁₁中的至少一个是羟基，至少两个是甲基，其余的任意基 团是氢，

其中所述光刻胶化合物是在曝光时发生光化学反应从而 产生酸或自由基的化合物。

2.根据权利要求1所述的光刻胶树脂组合物，其中，所述碱溶性 树脂进一步包括选自由酚醛树脂、丙烯酸树脂、及它们的组合 所构成的组中的第二聚合物树脂。

3.根据权利要求2所述的光刻胶树脂组合物，其中，所述第一聚 合物树脂的量为所述碱溶性树脂总重量的1wt％至50wt％。

4.根据权利要求3所述的光刻胶树脂组合物，其中，所述第一聚 合物树脂由酚单体和醛化合物形成，且所述醛化合物是水杨醛 化合物。

5.根据权利要求1所述的光刻胶树脂组合物，其中，所述光刻胶 化合物是邻叠氮萘醌化合物。

6.根据权利要求1所述的光刻胶树脂组合物，其中，所述光刻胶 树脂组合物包括基于所述光刻胶树脂组合物的总重量计5 wt％至30wt％的所述碱溶性树脂、2wt％至10wt％的所述光 刻胶化合物、以及剩余量的溶剂。

7.一种用于形成图案的方法，包括：

在衬底上形成薄膜；

通过在所述薄膜上涂布包括碱溶性树脂、光刻胶化合物、 以及溶剂的光刻胶树脂组合物而形成光刻胶膜，所述碱溶性树 脂包括由以下的化学式1表示的第一聚合物树脂，

化学式1

使所述光刻胶膜曝光并显影以形成光刻胶图案；以及

通过所述光刻胶图案蚀刻所述薄膜，

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆中的至少一个是羟基， 至少两个是甲基，其余的任意基团是氢，而R₇、R₈、R₉、R₁₀ 和R₁₁中的至少一个是羟基，至少两个是甲基，其余的任意基 团是氢，

其中所述光刻胶化合物是在曝光时发生光化学反应从而 产生酸或自由基的化合物。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述碱溶性树脂进一步包 括选自由酚醛树脂、丙烯酸树脂、及它们的组合所构成的组中 的第二聚合物树脂。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一聚合物树脂的量 为所述碱溶性树脂总重量的5wt％至50wt％。