[发明专利]准分子灯及具备该准分子灯的灯单元

说明书

技术领域

本发明涉及准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，特别涉及在准分子 灯的端部具备灯保持部的准分子灯及具备该准分子灯的灯单元。

背景技术

在传统工艺中，如专利文献1所示，在半导体基板或液晶基板的制作 工序中，将清洗基板作为目的，使用具备照射真空紫外线的准分子灯的灯 单元。

图20是表示从与现有技术的准分子灯103的长度方向正交的切剖面观 看的紫外线照射装置100的结构的剖面图，图21是表示从图20所示的E -E切剖面观看的紫外线照射装置100的剖面图。

如这些图所示，紫外线照射装置100由灯单元101(图上方)及搬运机构 102(图下方)构成，该灯单元101在大约箱状地构成的筐体104内具备准分 子灯103，该搬运机构102是载置灯单元101且搬运被照射物W。

如这些图所示，灯单元101包括由设置于灯单元101的筐体104内部 的多支准分子灯103，及收容准分子灯103且加以保持的筐体104。准分子 灯103通过灯保持体111经隔间壁110被支撑于筐体104。搬运机构102具 备：多个滚子109，载置灯单元101的筐体104，而且并列配置于内部；以 及驱动体110，设于各滚子109的两端，而且旋转驱动滚子109。从搬运机 构的搬入口被搬入的被照射物W，被载置于滚子109上，通过滚子109被 旋转驱动，被搬入至准分子灯103的正下方。被搬入的被照射物W是与准 分子灯103靠近，被照射来自准分子灯103的真空紫外线。被真空紫外线 照射的被照射物W被从搬出口搬出。

图22是表示图20及图21所示的准分子灯103的立体图，图23是表 示图21所示的准分子灯103的一个端部(被圆圈包围的部位)的放大剖面图， 图24是表示从图23所示的F-F切剖面所观看的准分子灯103的一个端部 的剖面图。

如这些图所示地，准分子灯103具备大约长方体的放电容器105，而相 对于其长度方向的垂直方向的剖面为长方形，而在放电容器105的上下两 表面，以沿着放电容器的长度方向延伸的方式，设有网状的一个外部电极 106及另一个外部电极107。在放电容器105的两端，设有引线保持体112， 该引线保持体112保持一个引线114及另一个引线115，该一个引线114连 接于一个外部电极106，该另一个引线115连接于另一个外部电极107，而 从引线保持体112能够拉出一个引线114及另一个引线115。

专利文献1：日本特开2005-197291号公报

一般，图22所示的准分子灯103中设的引线保持体112具备如下所示 的3种功能。一般，第1种功能是：由于引线114、115与外部电极106， 107利用焊剂的焊接被电连接，因而由于要确保维持两者的连接，就需要保 持引线114、115，例如，将被连接于准分子灯103的外部电极106、107的 引线114、115设置于放电容器105与引线保持体112之间，而将引线114、 115压接在放电容器105与引线保持体112之间并予以保持。第2种功能是： 被固定于放电容器105的功能，例如，在引线保持体112与放电容器105 之间的空隙填充粘合剂116，而把引线保持体112固定在放电容器105的外 表面。第3种功能是：防止放电容器105外表面的外部电极106、107间的 绝缘击穿的功能，例如，抵接于引线114、115的引线保持体112由具有电 绝缘性的构件所构成，防止放电容器105外表面的外部电极106、107间的 沿面放电。

图21至图24的现有技术的引线保持体112，是具备上述的第1种至第 3种的功能，在准分子灯103与被照射物W相对配置的灯单元101中，为 了使得从准分子灯103照射在被照射物W的真空紫外线，尽量不会被氧气 吸收而有效率地被照射在被照射物W，必须尽量靠近地配置准分子灯103 与被照射物W。准分子灯103与被照射物W间的距离，是例如必须靠近在 3～5mm的范围。但是，图21至图24的现有技术的引线保持体112，为具 有如陶瓷的电绝缘性的构件所构成，则从放电容器105的平坦面会突出着 引线保持体112的厚度部分，而该厚度部分会使得准分子灯103与被照射 物W间的距离L10的靠近化变得困难。即，引线保持体112的第4中功能 是必须构成为：不会对准分子灯103与被照射物w的靠近配置构成妨碍。

发明内容