[发明专利]光波导路组件的制造方法

权利要求书

1.一种光波导路组件的制造方法，其用于制造光波导路 组件，该光波导路组件包括：具有下敷层、形成在该下敷层的 表面的芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背 面侧与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光 反射而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，其 特征在于，

该光波导路组件的制造方法包括如下工序：利用下述模具 成形法A或模具成形法B形成上述上敷层的同时，将与上述光波 导路的端部相对应的上敷层的端部形成为反射部；

直接在上述光波导路的下敷层的背面形成导电配线；

将上述光学元件连接于上述导电配线的与上述光波导路的 端部的上述反射部相对应的部分来安装上述光学元件，

模具成形法A：准备成形模具，该成形模具上形成了具有 与上敷层的表面形状相对应的模面的凹部和与该凹部的一部分 连通的注入孔，在将芯定位在该成形模具的上述凹部内的状态 下，使该凹部的开口面与下敷层的表面紧密接触，在该状态下， 自上述注入孔将用于形成上敷层的感光性树脂注入到由上述凹 部的模面、下敷层的表面、芯的表面围成的成形空间并使该用 于形成上敷层的感光性树脂充满上述成形空间之后，在透过上 述成形模具利用照射线对进行曝光后进行加热处理，使上述感 光性树脂固化；

模具成形法B：以覆盖芯的方式在下敷层的表面涂布了用 于形成上敷层的感光性树脂后，适当地调整对该涂布层的照射 线的曝光、加热处理来形成半固化的感光性树脂层，或者，通 过涂布上述感光性树脂来形成未固化的感光性树脂层，使形成 了具有与上敷层的表面形状相对应的模面的凹部而未形成有与 该凹部连通的注入孔的成形模具对半固化或未固化的感光性树 脂层进行冲压，将芯定位在该成形模具的上述凹部内并且使该 凹部的开口面与下敷层的表面紧密接触，在该状态下，在透过 上述成形模具利用照射线对进行曝光后进行加热处理，使上述 感光性树脂层固化。

2.根据权利要求1所述的光波导路组件的制造方法，其特 征在于，

将上述上敷层的端部形成为反射部的工序是将上敷层本身 的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序。

3.根据权利要求2所述的光波导路组件的制造方法，其特 征在于，

上述截面呈弧状的曲面是截面为大约1/4圆面的曲面。

4.根据权利要求2所述的光波导路组件的制造方法，其特 征在于，

将上述上敷层的端部形成为反射部的工序包括：将上敷层 本身的端部形成为截面呈弧状的曲面的工序；还在所形成的曲 面上形成金属膜的工序。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，

上述光学元件是将光相对于上述芯射出的发光元件，上述 反射部对来自上述发光元件的射出光进行反射。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的光波导路组件的制 造方法，其特征在于，

上述光学元件是接受来自上述芯的光的受光元件，上述反 射部对来自上述芯的光进行反射。