[发明专利]多芯片测试探针装置

权利要求书

1.一种多芯片测试探针装置，用以对呈数组分布的多数个相邻集成电路组件进行电性测试，包括有：

一探针座，具有一周边固定部及至少一间隔固定部，该周边固定部环绕该间隔固定部，该周边固定部与该至少一间隔固定部之间形成有数个分割区，相邻各该分割区与上述相邻的集成电路组件相对应分布；以及，

多数个第一及第二探针，各该第一及第二探针具有一针尖、一连接部及一针尾，该连接部位于该针尖及针尾之间且固定于该探针座，使该连接部与针尖之间形成一力臂以悬设于该探针座；该第一探针的连接部设于该周边固定部，该第二探针的连接部设于该间隔固定部，该第二探针的针尖位于相邻二该分割区之间，该第二探针的连接部以至针尾自该间隔固定部朝邻近该周边固定部方向弯折以延伸通过该周边固定部至该探针座外围。

2.依据权利要求1所述的探针装置，其中，该至少一间隔固定部连接该周边固定部相对的两侧且位于相邻二该分割区之间，该至少一间隔固定部上悬设有该第一探针且其力臂的延伸方向与该第二探针的力臂延伸方向相交错。

3.依据权利要求1所述的探针装置，其中，该间隔固定部位于该两相邻集成电路组件的切割道上。

4.依据权利要求1所述的探针装置，其中，该间隔固定部之间形成有二个分割区，该探针座在二相邻的该分割区之间具有一开口，且各该第二探针的针尖位于该开口中。

5.依据权利要求4所述的探针装置，其中，该开口中悬设有该第一探针且其力臂的延伸方向并列于该间隔固定部。

6.依据权利要求4所述的探针装置，其中，该开口位于该两相邻集成电路组件的切割道上。

7.依据权利要求3或5所述的探针装置，其中，至少一该第二探针的力臂位于该第一探针的针尖及邻近的该周边固定部之间。

8.依据权利要求3或5所述的探针装置，其中，各该间隔固定部上悬设有该第一探针，各该第二探针自连接部以至延伸至该周边固定部时设于邻近该第一探针的力臂及该间隔固定部之间。

9.依据权利要求8所述的探针装置，其中，该些第一及第二探针是以一绝缘胶固定于该探针座，该周边固定部上的绝缘胶厚度大于该间隔固定部上的绝缘胶厚度。

10.依据权利要求2所述的探针装置，其中，该周边固定部上凹设有多数个凹部，该些凹部与该间隔固定部相邻接，各该第二探针通过该周边固定部时设于该凹部上。

11.依据权利要求10所述的探针装置，其中，各该凹部上设有至少一第一探针，各该第二探针通过该周边固定部时位于相邻该第一探针的连接部与该探针座之间。

12.依据权利要求1所述的探针装置，其中，该周边固定部与该间隔固定部相邻接的两侧分别设有至少一凹部，各该第二探针通过该周边固定部时设于该凹部上。

13.依据权利要求4所述的探针装置，其中，该间隔固定部凸设有一凸部，各该第二探针的连接部设于该凸部上。