[发明专利]密封剂配送器及其控制方法有效
申请号: | 200910137260.2 | 申请日: | 2005-05-12 |
公开(公告)号: | CN101549338A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 安满镐;金埈煐 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 吴贵明 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封剂 配送 及其 控制 方法 | ||
1.一种密封剂配送器,用于将密封剂涂覆到安装于工作台上的基 板的主平面上,所述密封剂配送器包括:
涂覆头单元,所述涂覆头单元包括充有密封剂的注射器 以及与所述注射器同轴地耦合到所述注射器的下部以将密封 剂排出到所述基板的主平面上的喷嘴;
激光距离传感器,包括在所述注射器下部的两侧隔着所 述喷嘴设置在沿所述基板的主平面的直线上的光发射部件和 光接收部件,以测量所述基板与所述喷嘴之间的垂直距离,所 述光发射部件向所述基板发射激光束,并且所述光接收部件接 收被所述基板反射的激光束;以及
升降单元,用于根据由所述激光距离传感器所测量的所 述基板与所述喷嘴之间的垂直距离,使所述注射器升降规定的 量,
其中,所述激光距离传感器的所述光发射部件和所述光接 收部件合并为一体,并且在所述光发射部件与所述光接收部件 之间设置有用于耦合所述注射器的耦合开口,从而所述喷嘴可 穿过所述耦合开口,
从所述激光距离传感器的所述光发射部件输出的用于测 量距离的光被所述基板反射的地点与在基板上涂覆密封剂的 地点隔开使所述用于测量距离的光不被所涂覆的密封剂干扰 的最小距离。
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