[发明专利]线型多波长共焦显微镜模块以及其共焦显微方法与系统

权利要求书

1.一种线型多波长共焦显微镜模块，其特征在于，包括有：

一线光源模块，其提供一线入射光场；

一空间滤波元件；以及

一色散物镜，其设置于该线光源模块的一侧，该色散物镜具有两个以上的色差透镜，该色散物镜使该线入射光场产生轴向色散，使得该线入射光场聚焦形成多个具有不同深度的子线光场，每一个子线光场具有不同波长，该多个子线光场经由一物体反射而聚焦通过该空间滤波元件。

2.如权利要求1所述的线型多波长共焦显微镜模块，其特征在于，该多道子线光场为一连续光谱的光场。

3.如权利要求1所述的线型多波长共焦显微镜模块，其特征在于，该线入射光场为一宽频光场。

4.如权利要求1所述的线型多波长共焦显微镜模块，其特征在于，该空间滤波元件为一狭缝结构、一光纤阵列或者是一针孔阵列结构。

5.一种线型多波长共焦显微系统，其特征在于，包括：

一光源模块，其产生一线入射光场；

一空间滤波元件；

一色散物镜，其设置于该线光源模块的一侧，该色散物镜具有两个以上的色差透镜，该色散物镜使该线入射光场产生轴向色散，使得该线入射光场聚焦形成多个具有不同深度的子线光场，每一个子线光场具有不同波长，该多个子线光场经由一物体反射而聚焦通过该空间滤波元件；

一光谱影像感测单元，其对通过该空间滤波元件的子线光场分光并感测以形成一光谱影像；以及

一运算处理单元，其与该光谱影像感测单元以及该光源模块电讯连接，以接收该光谱影像并经由运算产生一剖面轮廓形貌资讯。

6.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该多道子线光场为一连续光谱的光场。

7.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该线入射光场为一宽频光场。

8.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该光谱影像感测单元更包括有：

一光谱分光单元，其耦接于该空间滤波元件的一侧，该光谱分光单元将通过该空间滤波元件的光场分光；以及

一影像感测元件，其与该光谱分光单元耦接，以感测被分光的光场而形成该光谱影像。

9.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该光源更包括有：

一光源单元，其提供一入射光场；

一透镜组，其将该入射光场调制成一细长光源；以及

一滤波元件，其对该细长光源进行空间滤波以形成该线入射光场。

10.如权利要求9所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该滤波元件为一滤波狭缝元件。

11.如权利要求9所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该透镜组为圆柱透镜或半圆柱透镜。

12.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，更具有一线性移动平台以提供承载一待测物进行线性位移运动。

13.如权利要求5所述的线型多波长共焦显微系统，其特征在于，该空间滤波元件为一狭缝结构、一光纤阵列或者是一针孔阵列结构。

14.一种线型多波长共焦显微方法，其特征在于，包括有下列步骤：

提供一线入射光场；

使该线入射光场经由一色散物镜产生色散，使得该线入射光场聚焦形成多个具有不同深度的子线光场，每一个子线光场具有不同波长；

使该多个子线光场经由一物体反射而聚焦通过一空间滤波元件；

对通过该空间滤波元件的光场进行分光而由一影像感测元件感测到一光谱影像；以及

分析该光谱影像以还原该物体的一剖面轮廓。

15.如权利要求14所述的线型多波长共焦显微方法，其特征在于，该多道子线光场为一连续光谱的光场。

16.如权利要求14所述的线型多波长共焦显微方法，其特征在于，该线入射光场为一宽频光场。

17.如权利要求14所述的线型多波长共焦显微方法，其特征在于，该待测物进行一线性位移运动以得到关于该待测物的一表面轮廓形貌。

18.如权利要求14所述的线型多波长共焦显微方法，其特征在于，该空间滤波元件为一狭缝结构、一光纤阵列或者是一针孔阵列结构。