[发明专利]划线装置以及使用该划线装置的基板切断装置和方法

权利要求书

1.一种划线装置，执行用于把形成有多个单位基板的母基板分割成 单位基板的划线工序，其特征在于包括：

第一划线部，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线； 以及

第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下， 在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线。

2.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述 母基板的上面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述 母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

3.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述 母基板的下面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述 母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

4.根据权利要求1所述的划线装置，其特征在于，所述母基板是平 板显示器基板。

5.根据权利要求4所述的划线装置，其特征在于，所述平板显示器 基板是把彩色滤光基板和薄膜晶体管基板沿上下方向层叠的薄膜晶体管 -液晶显示器用面板。

6.一种基板切断装置，其特征在于包括：

装载部，装载形成有多个单位基板的母基板；

第一划线部，在从所述装载部传送来的所述母基板的上面或下面任 何一个面上形成划线；

第二划线部，在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下， 在从所述第一划线部传送来的所述母基板的另一个面上形成划线；

切断部，沿在所述母基板上生成的划线把所述母基板分割成单位基 板；以及

卸载部，把分割后的所述单位基板卸载。

7.根据权利要求6所述的基板切断装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板下面的第一支承构件、在所述 母基板的上面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板上面的第二支承构件、在所述 母基板的下面上形成划线的第二划线单元。

8.根据权利要求6所述的基板切断装置，其特征在于，

所述第一划线部包括支承所述母基板上面的第一支承构件、在所述 母基板的下面上形成划线的第一划线单元；

所述第二划线部包括支承所述母基板下面的第二支承构件、在所述 母基板的上面上形成划线的第二划线单元。

9.一种基板切断方法，用于把形成有单位基板的母基板分割成单位 基板，其特征在于，

在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线，之后，

在保持所述母基板的上面和下面的方向性的状态下，在所述母基板 的另一个面上形成划线。

10.根据权利要求9所述的基板切断方法，其特征在于，

在支承所述母基板的下面的状态下，在所述母基板的上面上形成划 线，

在吸附并支承形成了划线的所述母基板的上面的状态下，在所述母 基板的下面上形成划线。

11.根据权利要求9所述的基板切断方法，其特征在于，

在吸附并支承所述母基板上面的状态下，在所述母基板的下面上形 成划线，

在支承形成了划线的所述母基板下面的状态下，在所述母基板的上 面上形成划线。

12.一种划线装置，执行用于把形成有多个单位基板的母基板分割 成单位基板的划线工序，其特征在于包括：

第一划线部，在所述母基板的上面或下面任何一个面上形成划线； 以及

第二划线部，与所述第一划线部相邻配置，在保持所述母基板的上 面和下面的方向性的状态下，在从所述第一划线部传送来的所述母基板 的另一个面上形成划线。