[发明专利]磁写头及其制造方法

权利要求书

1.一种磁写头，包括：

基板，具有表面；

磁轭，沿基本平行于所述基板的表面的平面形成为单个一体层；以及

磁写极，与所述磁轭连接，

其中所述磁轭还包括：横向相对的第一磁返回极和第二磁返回极，所述 第一磁返回极和所述第二磁返回极分别具有延伸到气垫面的末端；设置在所 述第一磁返回极和所述第二磁返回极之间的磁通引导部，所述磁通引导部未 到达所述气垫面就终止并且与所述磁写极磁连接；以及后部，远离所述气垫 面ABS，并且用于将所述第一磁返回极和所述第二磁返回极与所述磁通引导 部彼此磁连接。

2.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭形成在所述磁写极上方。

3.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁写极形成在所述磁轭上方。

4.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭还包括第一磁屏蔽部和 第二磁屏蔽部，所述第一磁屏蔽部和所述第二磁屏蔽部分别与所述第一磁返 回极和所述第二磁返回极在所述气垫面处连接并且向所述磁写极延伸。

5.如权利要求4所述的磁写头，其中所述第一磁屏蔽部和所述第二磁 屏蔽部均通过非磁性间隙层与所述磁写极分隔。

6.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭还包括与所述第一磁返 回极和所述第二磁返回极连接的环绕磁屏蔽部，该环绕磁屏蔽部形成在所述 气垫面处并且具有尾屏蔽部以及第一侧部和第二侧部，该尾屏蔽部通过非磁 性尾间隙与所述磁写极的尾缘分隔，所述第一侧部和所述第二侧部通过第一 非磁性侧间隙层和第二非磁性侧间隙层与所述磁写极的第一侧和第二侧分 隔。

7.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭还包括磁屏蔽部，该磁 屏蔽部从所述第一磁返回极延伸到所述第二磁返回极并且通过非磁性间隙 层与所述磁写极分隔。

8.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭还包括磁屏蔽部，该磁 屏蔽部从所述第一磁返回极延伸到所述第二磁返回极并且通过非磁性间隙 层与所述磁写极的尾缘分隔。

9.如权利要求1所述的磁写头，其中所述磁轭还包括磁屏蔽部，该磁 屏蔽部从所述第一磁返回极延伸到所述第二磁返回极并且通过非磁性间隙 层与所述磁写极的前端边缘分隔。

10.如权利要求1所述的磁写头，还包括读头以及设置在所述读头与所 述磁写头之间的磁屏蔽。

11.一种制造磁写头的方法，包括：

设置基板；

形成磁写极；以及

在形成所述磁写极之后，以磁轭的形式电镀磁性材料，所述磁轭具有第 一磁返回极和第二磁返回极以及设置在所述第一磁返回极和所述第二磁返 回极之间的磁通引导部，所述第一磁返回极和所述第二磁返回极以及所述磁 通引导部通过所述磁轭的后部彼此磁连接，其中所述磁轭在单个电镀步骤中 形成为单个一体层，且其中所述磁写极的一部分至少接触所述磁轭的所述磁 通引导部的一部分。

12.如权利要求11所述的方法，其中电镀磁轭还包括：

设置所述基板；

在所述基板上形成掩模，所述掩模具有开口，该开口被构造以定义所述 磁轭；以及

电镀磁性材料到所述掩模的所述开口中。

13.如权利要求11所述的方法，其中电镀所述磁轭还包括形成具有第 一磁屏蔽部和第二磁屏蔽部的所述磁轭，所述第一磁屏蔽部和所述第二磁屏 蔽部分别从所述第一磁返回极和所述第二磁返回极向所述磁写极延伸。

14.如权利要求11所述的方法，其中电镀所述磁轭还包括形成具有磁 屏蔽部的所述磁轭的结构，该磁屏蔽部从所述第一磁返回极延伸到所述第二 磁返回极，所述方法还包括：在形成所述磁写极之前，在所述磁屏蔽的至少 一部分上方沉积非磁性材料从而将所述磁屏蔽部与所述磁写极分隔。