[发明专利]衬底保持设备

权利要求书

1.一种衬底保持设备，包括：

构造成保持衬底的衬底保持机构；

加热机构；以及

热传导构件，所述热传导构件插入所述衬底保持机构和所述加热机构之间以与所述衬底保持机构和所述加热机构接触，并将由所述加热机构产生的热传导至所述衬底保持机构，

其中所述热传导构件通过在盘状片材部分上堆叠中心被钻孔的环状片材部分而形成，并包括位于外周边部分上的凸起和位于内周边部分上的凹部。

2.根据权利要求1所述的设备，其中多个弹性锁定构件将所述衬底保持机构的外边缘固定至所述加热机构。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述衬底保持机构通过静电力卡紧且保持所述衬底。

4.根据权利要求1所述的设备，其中

所述衬底保持机构在其上表面中设有凹槽，当布置所述衬底时所述凹槽相对于所述衬底的下表面形成一空间，以及

所述热传导构件的所述外周边部分上的凸起包括与所述凹槽相连通的气体通道，所述气体通道向所述衬底的下表面下方的所述空间供应惰性气体。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述凹槽和所述气体通道形成在所述衬底保持机构的外周边侧和/或中心。

6.根据权利要求4所述的设备，其中可伸展的弹性柱形构件形成在所述气体通道的内壁部分上。