[发明专利]用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统

权利要求书

1.一种用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述冷却系统包括：

一加热腔体，用以容纳欲进行加热的冷却气体；

至少一温度传感器，用以检测一工艺腔体内薄膜太阳能电池基板与所述加热腔体内冷却气体的温度；

一加热元件，设置在所述加热腔体内部，用以加热所述加热腔体内部的冷却气体；

一风扇单元，设置在所述加热腔体内部，用以冷却所述加热腔体内部的冷却气体；及

一控制单元，可根据所述检测到的基板温度自动控制所述加热元件与所述风扇单元的输出以升降所述冷却气体的温度，使通入的所述冷却气体的温度与所述检测到的基板温度差距在整个冷却步骤期间都维持在一定值。

2.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述加热元件为热电耦、电热管、或热风枪。

3.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述温度差距设定为20℃。

4.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述控制单元通过改变所述风扇单元的转速来控制其输出。

5.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述控制单元通过改变所述加热元件的功率来控制其输出。

6.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述冷却气体包括Ar或N₂。

7.如权利要求1所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述智能式冷却系统与薄膜太阳能电池的工艺机台共同运作以达成智能式冷却效果。

8.如权利要求7所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述工艺机台为等离子体辅助化学汽相沉积机台。

9.如权利要求7所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述工艺机台为一批次工艺机台，所述智能式冷却系统可同时对所述批次工艺机台中多片薄膜太阳能电池基板进行冷却动作。

10.如权利要求7所述的用于薄膜太阳能电池制造的智能式冷却系统，其特征在于，所述工艺机台为一多腔体机台，所述智能式冷却系统可同时对所述多腔体机台的多个腔体中的薄膜太阳能电池基板进行冷却动作。