[发明专利]放电灯

说明书

技术领域

本发明涉及一种放电灯，特别是涉及作为半导体元件、液晶元件、印刷基板元件等的曝光用光源或投影用投影装置的光源而使用的短弧型放电灯。

背景技术

在上述技术领域中所使用的放电灯记载于例如专利文献1、2等。

图8是表示专利文献1、2所记载的短弧型放电灯的结构的局部剖视图。

如该图8所示，短弧型放电灯101的放电容器102在发光管103的两端连续设置有朝外侧延伸的密封管104。在发光管103的内部，一对电极105、106隔着预定间隔彼此相对配置。电极105、106各自的电极主体1051、1061固定于电极轴部1052、1062。另外，电极轴部1052、1062固定于密封管104、104内的未图示的金属盘而被石英支承。电极105、106由钨构成，例如包括：由整体呈大致圆柱状且在前端部及后端部分别朝外侧前端变细地形成有曲面或斜面的阳极105；和前端为尖塔状的阴极106。另外，该短弧型放电灯101在用于上述技术领域中的各种元件的曝光时，通常保持阳极105为上而阴极106为下的垂直状态，并与适当的光学系统共同使用。

在这种短弧型放电灯101中，电极主体1051是通过冲压压入而插入电极轴部1052中而与电极轴部1052接合。其保持力取决于电极轴部1052与电极主体1051的孔(未图示)内表面的摩擦。但由于在电极主体1051的孔与电极轴部1052的直径之间存在尺寸精度上的误差等，因此在例如专利文献1中采取下述对策，即如图9(a)所示，在电极主体1051的孔与电极轴部1052之间适宜地置入金属箔107，在接合电极主体1051与电极轴部1052时，控制压入时所施加的力，从而防止电极主体1051的脱离及落下。但即使采取这样的对策，也无法消除电极主体1051的孔与电极轴部1052的直径的尺寸精度等的影响，电极主体1051会因运输时的振动等而从电极轴部1052脱离、落下。

此外，在专利文献3中公开了如图9(b)所示通过螺合连接1053来结合电极主体1051与电极轴部1052的电极。但由于螺合连接1053也为金属之间的结合，因此会因冲击、振动而引起结合松弛，当无视该松弛时，会有电极主体1051落下的可能性，因此需要确实地将电极主体1051与电极轴部1052连接，提高可靠性、安全性。

专利文献1：日本特开2003-331780号公报

专利文献2：日本特开2001-015070号公报

专利文献3：日本特开平5-325891号公报

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而研制，其目的在于提供一种可靠性高的放电灯，具备能够简单且稳定地接合电极主体与电极轴部的电极接合构造，能够防止电极主体从电极轴部脱离而落下的不良情况。

为了解决上述课题，本发明采取下述方法。

第1方法的放电灯，在发光管的两端连续设置密封管而形成的放电容器的内部空间，配置有在所述发光管的管轴方向上相对的一对电极，所述电极具有电极主体和电极轴部，所述电极主体具有与前端部连接的大致圆柱状的主体部，在所述电极轴部的前端部形成有外螺纹部，在所述电极主体的后端部形成的凹部内壁形成有内螺纹部，电极主体与电极轴部通过螺合而连接，所述放电灯的特征在于，在所述电极主体的内螺纹部与所述电极轴部的外螺纹部之间夹持有金属部件，所述金属部件的一部分以被压溃的状态配置。

第2方法的放电灯的特征在于，在第1方法中，所述金属部件由金属箔构成。

第3方法的放电灯的特征在于，在第1方法中，在所述电极轴部的外螺纹部，以贯通螺纹的方式在轴向上形成有孔或槽，所述金属部件为棒状体，所述金属部件与所述孔或所述槽嵌合而配置。

第4方法的放电灯的特征在于，在第1至第3方法中的任一种方法中，具有多个所述金属部件，该多个金属部件在所述电极主体的圆周方向上隔着间隔而配置。

第5方法的放电灯的特征在于，在第1至第4方法中的任一种方法中，所述外螺纹部的基端部埋入于所述电极主体内部。

第6方法的放电灯的特征在于，在第5方法中，在所述电极轴部形成有随着从所述外螺纹部的基端部靠向电极轴部的后方而扩大直径的锥面，该锥面埋入于所述电极主体内部。

根据第1方法所记载的发明，在外螺纹部与内螺纹部之间，金属部件压溃而配置，所以结合状态强固，能够防止电极主体从轴部脱落。

根据第2方法所记载的发明，使用能够简单地制造的金属箔作为金属部件，从而能够获得良好的结合状态。