[发明专利]铝靶材表面的处理方法

权利要求书

1.一种铝靶材表面的处理方法，其特征在于，包括：

将铝靶材区分出溅射区和非溅射区；

用125号玻璃珠对所述非溅射区的表面进行喷丸处理；

其中，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。

2.如权利要求1所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面成45°。

3.如权利要求1所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面成90°。

4.如权利要求1所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面成135°。

5.如权利要求1-4任意权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，将所述非溅射区的表面分为第一非溅射区表面和第二非溅射区表面，用所述125号玻璃珠对所述第一非溅射区表面和第二非溅射区表面进行所述喷丸处理，其中，所述第一非溅射区表面和第二非溅射区表面不属于一个平面。

6.如权利要求5所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，先对所述第一非溅射区表面进行所述喷丸处理，后对所述第二非溅射区表面进行所述喷丸处理。

7.如权利要求5所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，同时对所述第一非溅射区表面、第二非溅射区表面进行所述喷丸处理。

8.如权利要求1-4任意权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，进行所述喷丸处理前，对125号玻璃珠进行弹丸筛选。

9.如权利要求6所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，对所述125号玻璃珠进行弹丸筛选包括：

选取125号玻璃珠的最大标准筛网；

去除覆盖住最大标准筛网表面的125号玻璃珠；

选取125号玻璃珠的最小标准筛网；

去除通过最小标准筛网表面的125号玻璃珠。

10.如权利要求6所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，对所述125号玻璃珠进行弹丸筛选前，对弹丸质量预先评定。

11.如权利要求8所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，对所述弹丸质量预先评定包括：

按网洞大小选用若干125号玻璃珠筛网；

根据网洞由大到小顺序依次从上到下放置筛网，网洞最大放置在最上，网洞最小放置在最下；

将全部125号玻璃珠倒入网洞最大的筛网，玻璃珠会依据大小的不同落入网洞不同的筛网；

将各筛网上的125号玻璃珠倒入相应编号的容器中；

将各筛网上的125号玻璃珠在电子秤上称量并记录数据；

将各筛网上的125号玻璃珠的重量相加得出总的重量；

计算出各筛网上的125号玻璃珠的重量占总重量的百分比。

12.如权利要求1-4任一权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，进行所述喷丸处理前，对铝靶材表面的溅射区进行遮蔽保护。

13.如权利要求1-4任意权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，进行所述喷丸处理后，进行粗糙度检查。

14.如权利要求1-4任意权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中，空压机气压为6.0×10⁵～6.5×10⁵Pa。

15.如权利要求1-4任意权利要求所述的铝靶材表面的处理方法，其特征在于，所述喷丸处理中，喷嘴到非溅射区表面距离为20-30mm。