[发明专利]竖直向上接触的半导体及其制造方法有效
申请号: | 200910139892.2 | 申请日: | 2009-06-24 |
公开(公告)号: | CN101615601A | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | R·埃泽勒;M·科克 | 申请(专利权)人: | 丹福斯矽电有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L25/00;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 周心志;梁 冰 |
地址: | 德国石*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 竖直 向上 接触 半导体 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种竖直向上接触的半导体,以及其制造方法。
背景技术
在现有技术状态下,已知利用冲压格栅焊接DCB(direct copper bonds直接敷铜),其由模塑材料覆盖,并包括横向布置在封装(即、半 导体、承载半导体及其模塑材料的引线框架)上的线路。
引线框的电连接部分地从电路的中心引出到边缘。
为了实现带电部件(键合线、半导体和印刷导体)之间的高度电绝 缘并获得非常高的机械稳定性或坚固,如果封装由硬质塑料材料围绕, 可以获得这些产品。
该制造技术包括通过转移模制将硬质塑料、坚硬的、玻璃状聚合材 料(例如Henkel Loctite Hysol)完全填充模体的体积。对于单独的半导 体部件(像ST-Microelectronics IRF-540的TO 220外壳模具)和US 2005/0067719A1中所示的晶体管组是这种情况。
另外对于基板组,一些产品还围绕安装的减热板,例如Mitsubishi的 DIP-IPM(“A new Version Intelligent Power Module for High Performance Motor Control”;M.Iwasaki等;Power Semiconductor Division,Mitsubishi, Japan)。(DIP指:双列直插式封装(Dual Inline Package)而IPM指: 智能功率模块(Intelligent Power Module))。
这种部件组的最经常的部件形式是单列直插式封装和双列直插式封 装(SIP和DIP),例如Mitsubishi的DIP形式的DIP-IPM PS20341G 或者SIP形式的Mitsubishi SIP-IPM PS-21661。
通常的制造技术包括利用硬质塑料材料填充两个模具半部之间的中 空部。通常,包括印刷导体和触点的冲压格栅插在两个模具半部之间。 该冲压格栅仅用于内部连接和外部连接的引导。关于此点,半导体或者 放置在绝缘引线框(DCB、IMS或者PCB)上,或者在非绝缘的冲压格 栅上。
该现有技术的缺点在于:为了增加可获得功率,通常必须并联数个 SIP/DIP功率部件组。当使用一个或多个电相位时,这些并联的数个 SIP/DIP部件组应当彼此靠近地布置。冲压格栅触点形式的侧向延伸的触 点因而将需要模块体周围另外的空间。
并联的部件组通常通过焊接或螺纹联接连接到条形导体,已知为 轨。该联接技术需要模块体级别的另外的空间。这两因素导致相对长的 导体路径,尤其是高电流电源和高电流出口的。然而,以复杂几何形状 形成的长轨导致并联模块之间的寄生电感,这会对半导体的尺寸和可获 得的切换频率产生不利影响。
因而,由于连接对于封装侧向空间的要求,现有技术不允许紧凑的 侧向排列。从封装中心到冲压格栅边缘的印刷导体所需的另外的空间意 味着在该区域中形成连接是不可能的,并且除安装元件与电开关的交叉 之外,还存在高寄生电感的问题。
发明内容
因此,本发明的任务是提供具有改进条件的模块。
根据本发明,提出一种竖直向上的接触半导体模块,具有包括基板 的引线框、布置在基板上的半导体和电触头,所述触头从导线层开始形 成为与位于所述导线层之下的基板侧面相反的、向上指向的导电接触 体,其中,所述接触体形成具有两个腿部的金属舌状件,该金属舌状件 以其自由端部固定在引线框上,并包括向外的连接两个腿部的平面区域 作为接触表面,所述触头至少部分地位于围绕所述半导体的包封式模塑 材料中。
根据本发明,提出一种具有引线框的向上接触半导体包括基板、布 置在基板上的半导体和电触头,其中触头形成为向上的导体。方向“向 上”是与基板侧相反的方向。
具体地,接触体应设计成具有变形区域的弹性金属舌状体,其尤其 用于确保在传递模塑期间,金属舌状件弹性地靠在模具内侧,因而最后 与内侧对齐,从而没有模塑材料会阻止接触。这使得最后,嵌在模塑材 料中的金属舌状件更稳定,且接触体的上侧与模塑材料的上侧齐平。
优选的是,接触体在它们的上端具有适合容纳插头的孔,其没有模 塑材料(在模制期间,通过接触模具边缘或者被移除的型芯,盲孔保持 没有模塑材料)。
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