[发明专利]靶材的制作方法

权利要求书

1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供金属料件；

将所述金属料件挤压成型，制作成靶材；

对所述靶材采用阳极氧化工艺，在表面形成氧化膜；

对所述阳极氧化后的靶材进行热处理；

对所述热处理后的靶材进行粗加工和精加工。

2.如权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述金属料件为铝或铝合金。

3.如权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述阳极氧化工艺为硬质阳极氧化工艺。

4.如权利要求3所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述硬质阳极氧化工艺的电解液为酸性溶液。

5.如权利要求4所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述电解液为硫酸。

6.如权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，还包括：在将所述金属料件挤压成型前，对所述金属料件进行预热处理。

7.如权利要求6所述的靶材的制作方法，其特征在于，还包括：在对所述靶材采用阳极氧化工艺前，清洗所述预热处理后的靶材表面。

8.如权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，在所述精加工的过程中去除靶材用于溅射的一侧表面的氧化膜。

9.如权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述粗加工是进行产品轮廓车削，所述精加工是进行产品尺寸车削。