[发明专利]靶材组件的制作方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：

提供300毫米靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；

对300毫米靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料与300毫米靶材坯料的结合面与坯料外周充分浸润，去除300毫米靶材坯料结合面和与坯料外周上的钎料；

对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和背板侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；

将300毫米靶材坯料与背板接触，包括：将300毫米靶材坯料结合面与背板结合面接触并且300毫米靶材坯料外周与背板侧壁内侧接触；

将接触的300毫米靶材坯料与背板放置于工作台保持稳定，将300毫米靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；

冷却靶材组件。

2.根据权利要求1所述的靶材结构的制作方法，其特征在于，所述300毫米靶材坯料的材料具体选自钽、铜、铝、银、镍、铬、钛、锆、锕、钼、钨、铂、金、铌、钴、铼、钪或它们任意组合的合金。

3.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板材料具体选自铝基合金或者铜基合金。

4.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述钎料选自有铅焊锡钎料或者无铅焊锡钎料，其中钎料中银的质量百分比为0.2％。

5.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述对钛靶材坯料进行预热温度为200摄氏度至250摄氏度。

6.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述使得钎料与钛靶材坯料的结合面充分浸润包括将钢刷摩擦钎料三至四回。

7.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述对背板的结合面进行打磨处理为用#180或者#230砂纸对背板的结合面进行打磨处理并用酒精清洗背板的结合面。

8.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述对背板进行预热温度为200摄氏度至250摄氏度。

9.根据权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述对钛靶材坯料和背板进行钎焊处理工艺参数为：工作温度260摄氏度至280摄氏度，压强0.48兆帕至0.52兆帕。