[发明专利]半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统有效
| 申请号： | 200910140647.3 | 申请日： | 2003-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101648642A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·J·多尔蒂;托马斯·R·马里亚诺;罗伯特·P·沙利文 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动技术公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B65G35/00;B65G47/90;B65G49/07;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林月俊;安 翔 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 竖直 传送带 空中 升降机 组合式 自动 物料 搬运 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于搬运物料的平移升降机系统(800)，其包括：用于直接拾取或 放置物料的空中升降机输送子系统(804)和加工工具装载口(899)，所述空 中升降机输送子系统(804)包括：悬空轨(808)和设计成在所述悬空轨上 行驶的空中升降机输送车(805)，所述空中升降机输送车(805)包括空中升降 机(831)，所述空中升降机(831)具有平移台(833)和安装在所述平移台上 的用于拾取物料的空中抓取器(835)，其特征在于，所述平移台(833)能够水 平地和竖直地运动。
2.根据权利要求1所述的平移升降机系统(800)，其中，所述平移台 (833)被设计成使得所述空中升降机(831)能够拾取物料到所述空中升 降机输送车(805)的任一侧。
3.根据权利要求2所述的平移升降机系统(800)，其中，所述空中升 降机输送车(805)能够延伸到所述悬空轨(808)下方约0.9米处。
4.根据权利要求1或2所述的平移升降机系统(800)，其中，所述升 降机输送车(805)被安置在物料底部所处的平面的上方约0.35米处。
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