[发明专利]模子、图案形成方法以及图案形成设备

权利要求书

1.一种模子，包括：

具有待转印图案的区域的第一表面；

与所述第一表面相对定位的第二表面；

设置在所述第一表面上的用于对准的第一标记；以及

设置在远离所述第一表面的位置处的用于对准的第二标记。

2.根据权利要求1所述的模子，其特征在于，用于对准的所述第二标记设在所述第一表面和所述第二表面之间，或是靠近所述第二表面，或是设在所述第二表面上。

3.根据权利要求1所述的模子，其特征在于，用于对准的所述第二标记嵌入所述第一表面和所述第二表面之间的区域中。

4.根据权利要求1所述的模子，其特征在于，用于对准的所述第一标记以及用于对准的所述第二标记设置成不与待转印的所述图案重叠。

5.根据权利要求1所述的模子，其特征在于，所述第一标记定位在这一位置，在该位置，当所述第一标记面对衬底时，所述第一标记能够接触所述衬底上的树脂材料。

6.一种制造方法，包括：

利用图案形成方法通过利用设置在模子上的图案而在待加工部件上形成图案，所述图案形成方法包括：通过利用第一位置信息和第二位置信息来实施模子与待加工部件沿模子的图案区域的面内方向的对准，所述第一位置信息是关于设置在具有所述图案区域的表面上的第一对准标记和定位成远离所述表面的第二对准标记之间的相对位置关系，所述第二位置信息是关于第二对准标记和设置在待加工部件上的第三对准标记之间的相对位置关系；以及

利用在待加工部件上形成图案制造半导体、光学仪器或生物芯片。