[发明专利]光束扫描装置、激光加工装置、测试方法和激光加工方法

权利要求书

1.一种用于扫描光束的装置，该装置包括：

反射镜(2)，被配置为使入射光束反射；

马达(1)，被配置为使所述反射镜(2)旋转，以改变被所述反 射镜(2)反射的光束行进的方向；

检测器(DT1，DT2，DT3)，被配置为检测所述反射镜(2)的 被检测区域(6，13，16)相对于所述反射镜(2)的旋转角的倾斜； 以及

处理器(50)，被配置为基于所述反射镜的旋转角和所述检测器 所检测到的所述被检测区域(6，13，16)的倾斜，计算所述反射镜相 对于沿所述马达(1)的旋转轴的方向的倾斜量，其中，所述反射镜的 倾斜由沿旋转轴的方向与所述反射镜(2)的反射表面之间的角度(θt) 表示。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，当所述反射镜的倾斜量 超过允许值时，所述处理器输出表示所述倾斜量超过所述允许值的出 错信号。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述反射镜(23)、所述马达(24)、所述检测器(25)和所述 处理器(25)构成第一单元，

所述装置还包括第二单元，所述第二单元包括：第二反射镜(28)， 被配置为使入射光束反射；第二马达(29)，被配置为使所述第二反 射镜(28)旋转，以改变被所述第二反射镜(28)反射的光束行进的 方向；第二检测器(30)，被配置为检测所述第二反射镜的第二被检 测区域相对于所述第二反射镜的旋转角的倾斜；以及第二处理器(30)， 被配置为基于所述第二反射镜(28)的旋转角和所述第二检测器所检 测到的所述第二被检测区域的倾斜，计算所述第二反射镜相对于沿所 述第二马达(29)的旋转轴的方向的倾斜量，以及

补偿单元(20)，被配置为通过所述第二单元的所述第二反射镜 (28)的旋转角补偿所述第一单元的所述反射镜(23)的倾斜量，并 且通过所述第一单元的所述反射镜(23)的旋转角补偿所述第二单元 的所述第二反射镜(28)的倾斜量，以及

所述第一单元的所述马达(24)的旋转轴垂直于所述第二单元的 所述第二马达(29)的旋转轴。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述检测器包括：照射 单元，被配置为用检测光照射所述反射镜；以及传感器，具有接收被 所述反射镜反射的检测光的光接收表面，并且所述检测器基于所述检 测光入射所述光接收表面的位置检测所述反射镜的倾斜。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述检测器包括干涉仪。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述检测器包括静电电 容传感器。

7.一种激光加工装置，包括：

权利要求1所定义的用于扫描光束的装置；

激光装置，被配置为用激光照射所述用于扫描光束的装置的所述 反射镜，其中，通过所述反射镜的旋转角控制要加工的工件上的激光 照射位置，以及

控制单元，被配置用于如果所述反射镜的倾斜落入允许值内，则 使得所述激光装置利用激光照射所述工件。

8.一种用于扫描光束的装置的测试方法，所述装置包括被配置 为使入射光束反射的反射镜(2)、以及被配置为使所述反射镜旋转以 改变被所述反射镜反射的光束行进的方向的马达(1)，所述方法包括 下述步骤：

测量所述反射镜(2)的旋转角；

检测所述反射镜(2)的被检测区域(6，13，16)相对于所述旋 转角的倾斜；以及

基于所述反射镜(2)的旋转角和所述被检测区域(6，13，16) 的倾斜，获取所述反射镜(2)相对于沿所述马达(1)的旋转轴的方 向的倾斜量，其中，所述反射镜的倾斜由沿旋转轴的方向与所述反射 镜(2)的反射表面之间的角度(θt)表示。

9.一种激光加工方法，包括下述步骤：

通过权利要求8所定义的测试方法获取所述反射镜的倾斜量；以 及

在所述反射镜的倾斜量落入允许值内之后，通过用激光照射要加 工的工件来加工所述工件。