[发明专利]光调制装置

说明书

技术领域

本发明涉及提高光调制装置的反射特性的技术，尤其涉及采用液晶作为光调制物质的光调制装置。

背景技术

所谓光调制装置是指如下装置，即，根据预定数据调整对作为光调制物质的液晶施加电压的时间，通过改变液晶的扭转从而改变通过的光的特性。光调制装置主要用于光通信装置。

构成光调制装置的液晶面板中，存在多个种类，其中之一称为LCOS(LiquidCrystal On Silicon：硅基液晶)。LCOS具有如下结构，即，在半导体基板上直接载置液晶，用透明电极夹在中间。

LCOS在形成于半导体基板上的像素电极上直接载置液晶，并进行密封。LCOS的情况中，由于半导体基板上的像素电极兼作反射板和电极，所以光只要通过1块透明电极即可，可提高透射率。

另外，LCOS的情况中，由于能够在像素电极下配置布线，因此能够提高各像素的开口率，提高的大小相应于布线宽度。

这样，LCOS由于具有较高的透射率和较高的开口率，所以开始用于以光调制装置为主的显示器等。而且，与此对应地，还提出了较多的与LCOS相关的技术方案(例如参照专利文献1。)。

下面说明专利文献1所示的现有技术。专利文献1示出的现有技术具有典型的LCOS结构。多个像素电极排列在同一平面上，利用驱动元件对各自的像素电极提供预定的电压。像素电极和驱动元件通过接触孔和过孔连接。

另外，在像素电极和驱动元件之间配置遮光层使得光线照不到驱动元件以防止驱动元件的误动作。

专利文献1：日本国专利特开昭62-169120号公报(第2页、第1图)

专利文献1中示出的现有技术示出了典型的LCOS的结构，还可用于光调制装置的面板。发明人对将专利文献1示出的现有技术用于像素区域较大的、换言之光照射部较大的光调制装置中的情况进行了探讨。

即，对采用这种LCOS以作为构成可调色散补偿器(TODC(Tunable OpticalDispersion Compensator))的光调制装置的情况进行了探讨。

使用图7对这样的可调色散补偿器(TODC)进行说明。

在图7中，标号100在整体上表示可调色散补偿器(TODC)。

在这样的光通信领域中，集中多个波长的光以使多个波长的光数据在一根光纤102上传输以赢取频带，但是若进行长距离传输，则各波长的相位会发生偏离。

因此，可调色散补偿器100中，将在光纤102中传输的光通过分波器104，在分波器104中对每个波长进行光分离。然后，采用如下结构，即，将在分波器104中对每个波长分离后的光通过光学透镜106反射到LCOS108，选择驱动LCOS108的像素电极组，从而能够整合各波长的相位。

但是，若将LCOS用于这样的光调制装置中，则如下述所说明那样可知，存在如下缺点，即，在像素区域产生影子，光反射变得不均匀。

另外，若照射强光，则会从位于像素电极的周边的缝隙状孔中漏出光线，还可能会导致驱动元件误动作。

[问题的说明：图8、图9]

这里，使用附图对发明人所探讨的专利文件1中示出的现有技术在用于像素区域较大的光调制装置中时产生的问题进行说明。图8为用于说明具有较大像素区域的LCOS的示意图。图8(a)为其俯视图，图8(b)为图8(a)的切割线B-B’的剖视图。图9为示意性示出图8所示的显示区域的俯视图。

在图8(a)、(b)中，标号200在整体上表示使用现有技术的LCOS的光调制装置。

该光调制装置200在由半导体基板构成的基板202上形成有栅极电极204，在该栅极电极204的附近，形成有漏极区域206和源极区域208。并且，由这些栅极电极204、漏极区域206、源极区域208构成MOS型晶体管的驱动元件210。

另外，这些MOS型晶体管的驱动元件210彼此通过元件分离区域212在电气上绝缘分离，并且通过层间绝缘膜214、216在电气上绝缘分离。

另外，在该层间绝缘膜216的上表面，形成有光保护膜(遮光层)218，在该光保护膜(遮光层)218的上表面，隔着层间绝缘膜220，形成有像素电极222。

该像素电极222和位于其下部的驱动元件210中，驱动元件210的布线211、和像素电极222的下表面通过像素电极连接部224电连接。