[发明专利]水冷式模具

权利要求书

1、一种用于制造石英坩埚且在内部具备供冷却水流动的间隙的水冷式模具，其中包括由导热金属或合金材料制成的外部模具部分和紧密地排列在所述外部模具部分的内表面上且由耐热材料制成的内部模具部分。

2、根据权利要求1所述的水冷式模具，其中通向所述模具的内表面的通气孔形成于所述内部模具部分中。

3、根据权利要求1或2所述的水冷式模具，其中所述内部模具部分是由多个分离区段整体构成，所述分离区段包括置于所述外部模具部分的底部上的盘形下分离区段和至少一个可拆卸地堆积于所述下分离区段上且紧密地排列在所述外部模具部分的内表面上的环形上分离区段。

4、根据权利要求3所述的水冷式模具，其中所述多个分离区段中的每一者都由碳材料制成。

5、根据权利要求1所述的水冷式模具，其中所述外部模具部分是以水冷夹套形式构成。

6、根据权利要求1所述的水冷式模具，其中所述模具具有带有向上开口部分的有底圆柱体形状且用于通过旋转模具方式来制造石英坩埚，在所述方式中，从底部的中心位置通到所述开口部分的中心位置的虚线作为旋转轴，所述模具围绕所述旋转轴旋转。