[发明专利]处理设备、输送控制装置以及输送控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有在多个处理装置之间存在多个基板等被输送物的输送路径时，在这些输送路径上输送被输送物的输送单元的处理设备、控制该处理设备的输送单元的输送控制装置、控制该处理设备的输送单元的输送控制方法。

背景技术

目前，具有这样一种处理设备：在多个处理装置之间存在多个具有基板等被输送物的分支或合流的输送路径，并具有在这些输送路径上输送被输送物的输送单元，使多个被输送物对应于一个输送单元。

作为具有存在这样的分支或合流的输送路径的处理设备，一般是在各层设置有处理装置的房间内具有在各层之间升降的升降机，横跨各个处理装置之间对每个贮存箱输送被输送物的处理设备。

此外，作为一片一片地输送基板等被输送物的薄板输送的处理设备，如在专利文献1中记载的那样，提出了一种在各层设置有处理装置的房间内具有在各层之间升降的升降机，横跨各处理装置之间输送被输送物的处理设备。

此外，如在专利文献2中记载的那样，提出了这样一种多级结构的处理设备，该多级结构的处理设备具有：具有升降功能的薄板输送车、以及进行该薄板输送车以及处理装置之间的被输送物传递的装载端口。在该处理设备中，还可以进行垂直地排列处理装置的节省安装空间的布局。

并且，如在专利文献3中记载的那样，提出了这样一种处理设备，该处理设备具有：可以连续地进行输送的薄板输送机；以及设置在该薄板输送机以及处理装置之间，能够保管被输送物的保管架。

并且，在这样的处理设备中，为了实现高效的处理，关于将哪个被输送物输送给哪个处理装置，需要恰当地控制输送单元。

在现有的输送控制方法中，输送单元，按照到达该输送单元的顺序，根据到达时刻、输送时间以及等待时间等预约的顺序，或者按照根据负荷状况等预先调度的顺序，输送被输送物。

例如，在专利文献4中公开了一种使用以下技术的输送装置，亦即，在可以通过多个输送路径将被输送物输入到加工处理装置的设备中，在短时间内选择最佳的运行调度，由此使输送钢板在各个设备中的滞留成为最小的限度，来提高各个处理设备的运行效率。该输送装置，具有在生成设置在各个输送路径中的输送装置的运行调度时，一边修正已生成的调度的不良点一边生成多个调度，从多个调度中选择最佳的调度的运行调度装置。

此外，在专利文献5中提出了一种与下述这样的服务单元的调度有关的技术，该服务单元在对被输送物进行预定处理的多阶段工序中，根据来自各个工序的服务请求进行预定服务。该技术能够进行使整个系统的处理效率优先的调度。即，通过累计等待时间计算部对每个被输送物计算出在各个工序中的等待时间的累计，然后，关于处于等待状态的各个服务请求，通过允许等待时间计算部求出提出了服务请求的工序中的处理时间和每个工序的处理时间的最大值的偏差。并且，例如，将与紧急度相对应的修正值输入优先度修正值输入部。然后，通过优先度计算部求出优先度，按照该优先度选择一个服务请求。

并且，在专利文献6中，公开了一种以按照被制造物的到达顺序进行处理的先入先出方式为基本的，要解决在工期不稳定的基础上生产量降低等课题的半导体工厂的物流控制装置。在该物流控制装置中，作为延迟时间计算当前时刻和基准时刻的差，所述当前时刻是前级的物流控制单位的处理结束时刻，所述基准时刻是基于根据理论工期和实际的处理时间的比计算出的处理计划时间而计算出的时刻。然后，该物流控制装置通过从该延迟时间最大的被制造物开始优先进行处理，这样可以使被制造物的工期、单位时间的生产量稳定。

此外，在专利文献7中，公开了一种具有一边进行路径选择，一边使在制品、产品等被输送物在几个工序之间流动的多个工序的物流控制方法。在该物流控制方法中，设定以下的状态方程式：使用在当前的各个工序中正在处理以及进行等待的被输送物数量的信息、以及在预定时间内可以向下一个工序输送的被输送物的信息，根据向下一个工序的输送指令预测下一时刻的各个工序的材料数量。根据使关于各个工序的被输送物数量以及控制指令的评价函数为最小的解，来求出输送指令值。对于该输送指令为正值且大于预定的值，并且被输送物是可输送的，输出输送指令，特别是在路径的分支点或合流点，对输送指令值最大的，输出输送指令。

【专利文献1】特开平07-022488号公报

【专利文献2】特许第4209572号公报

【专利文献3】特开2005-167083号公报

【专利文献4】特开平06-328112号公报

【专利文献5】特开2000-033542号公报